[发明专利]真空泵的固定部件

说明书

本发明提供一种真空泵的固定部件和具备该固定部件的真空泵，前述固定部件适用于实现破坏能（由于转子在旋转中破损产生的破坏性的能量）的降低以及泵尺寸的紧凑化。在真空泵（P）中，作为固定部件的间隔件（9）或螺纹槽泵定子（8）在被收纳于泵壳（C）内的状态下，在其外周面与泵壳（C）的内周面之间，形成有满足后述条件的间隙（G1）。条件：2d/D≤ε_max，其中，在前述条件中，D是固定部件（间隔件（9）或螺纹槽泵定子（8））的外径，d是前述间隙的宽度，ε_max是前述固定部件的断裂伸长率。

技术领域

本发明涉及一种环状的固定部件，该环状的固定部件作为真空泵的构成部件，被收纳于泵壳内，前述真空泵将借助该泵壳内的转子的旋转吸入的气体排出。

背景技术

以往，作为将借助泵壳内的转子的旋转吸入的气体排出的真空泵，例如已知有专利文献1中记载的涡轮分子泵。该文献1的涡轮分子泵构成为，借助转子（R）的旋转从吸气口（凸缘14a附近）吸入气体，将吸入的气体从排气口（15a）排出（参照该文献1的0024段的记载）。

另外，在该文献1的涡轮分子泵中，采用在泵机壳（14）的内侧设置内侧机壳（142）、进而在该内侧机壳（142）的内侧收纳前述转子（R）的结构，并采用以下结构：作为借助内侧机壳（142）吸收由转子（R）在旋转中破损产生的破坏性的能量（以下称为破坏能）的机构，在前述内侧机壳（142）和前述泵机壳（14）之间形成间隙（T），由此使由破坏能引起的内侧机壳（142）的变形变得可能，借助该变形吸收破坏能。

但是，根据该文献1中记载的涡轮分子泵，虽然转子（R）的破坏能被转化为内侧机壳（142）的变形能，但是没有考虑构成该内侧机壳（142）的材料的伸长量来设定前述间隙（T）。因此，虽然设置了前述间隙（T），但是有无法充分吸收破坏能的情况。另外，从省空间化的观点来看，在实现涡轮分子泵的紧凑化的方面，不考虑材料的伸长量的前述间隙（T）的设定是实现紧凑化时造成障碍的主要原因之一。

此外，前述括弧内的附图标记是专利文献1使用的附图标记。

专利文献1：日本特许第4197819号公报。

发明内容

本发明是为了解决前述问题点做出的发明，其目的是提供一种适用于实现破坏能（由于转子在旋转中破损产生的破坏性的能量）的降低的真空泵的固定部件和具备该固定部件的真空泵。

为了实现前述目的，本发明是一种真空泵的固定部件，是作为真空泵的构成部件被收纳于泵壳内的环状的固定部件，前述真空泵将借助该泵壳内的转子的旋转吸入的气体排出，其特征在于，前述固定部件在被收纳于前述泵壳内的状态下，在该固定部件的外周面与前述泵壳的内周面之间形成有满足下述条件的间隙，条件： 2d/D≤ε_max，D：前述固定部件的外径，2d：前述间隙的宽度，ε_max：前述固定部件的断裂伸长率。

在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件借助铸造制成。

在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件是借助金属模具铸造制成的金属模具铸件。

在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件是在砂型铸造后实施了热处理的砂型铸件。

在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件在借助前述铸造制造时，加入添加剂，使前述断裂伸长率与原材机加工件等同。

在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件由铝合金构成。

另外，本发明是具备前述固定部件的真空泵。