[发明专利]包括多孔金属箔的电子显微镜样品支架

权利要求书

1.一种电子显微镜样品支架，所述电子显微镜样品支架包括：

金属支架部件，所述金属支架部件包括多个隔开的支架元件，所述多个隔开的支架元件被布置形成网格；和

包括多孔区域的金属箔；

所述支架部件被配置成提供结构稳定性给所述金属箔，并且所述金属箔的所述多孔区域被配置成接收电子显微镜样品，其中所述支架部件、多个隔开的支架元件和金属箔全部由金形成，并且其中所述金属箔是金并且具有5×10^-8m以上的厚度。

2.根据任一前述权利要求所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔的厚度被选择为至少是所述电子显微镜样品的最小尺寸。

3.根据任一前述权利要求所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔被布置成与所述支架部件欧姆接触。

4.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔的所述多孔区域包括金属层，所述金属层包括多个孔。

5.根据权利要求4所述的电子显微镜样品支架，其中每一个所述孔中的尺寸被定制为接收至少一个所述电子显微镜样品。

6.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔的所述多孔区域被布置成延伸穿过所述多个隔开的支架元件的区域。

7.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述支架还包括石墨烯层。

8.根据权利要求7所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层被配置成延伸穿过所述金属箔的所述多孔区域中的小孔。

9.根据权利要求7或权利要求8所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层被配置成与所述金属箔欧姆接触。

10.根据权利要求7至8中任一项所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层被配置成支撑所述电子显微镜样品。

11.根据权利要求9所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层被配置成支撑所述电子显微镜样品。

12.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述多孔区域中的小孔被配置成接收将要使用电子显微镜进行检查的辐射敏感材料。

13.一种制造电子显微镜样品支架的方法，所述方法包括：

提供金属支架部件，所述金属支架部件包括多个隔开的支架元件，所述多个隔开的支架元件被布置形成网格；和包含多孔区域的金属箔；其中所述支架部件、多个隔开的支架元件和金属箔全部由金形成，并且其中所述金属箔是金并且具有5×10^-8m以上的厚度，

配置所述支架部件以提供结构稳定性给所述金属箔；以及

配置所述金属箔的所述多孔区域以接收电子显微镜样品。

14.一种使电子显微镜样品成像的方法，所述方法包括：

将所述电子显微镜样品配置在根据权利要求1至12中任一项所述的支架上；将所述支架布置在显微镜的电子束中；以及，收集分析用的图像数据。

15.可操作用于提供样品的电子显微镜图像的成像设备，所述设备包括：

电子显微镜样品，所述电子显微镜样品安装在根据权利要求1至12中任一项所述的支架上；显微镜的电子束，所述显微镜的电子束被布置成入射在所述支架上；以及收集设备，所述收集设备可操作用于收集分析用的图像数据。