[发明专利]用于PVD涂层设备的蒸发器体以及制备这种蒸发器体的方法

权利要求书

1.一种用于PVD涂层设备的蒸发器体(2)，所述蒸发器体(2)具有基体(4)，所述基体(4)包括氮化硼和二硼化钛并具有蒸发器表面(6)，

其中，

在所述蒸发器表面(6)上涂覆有包含由氢化钛构成的第一反应物和由铝或含铝的基质构成的第二反应物的涂层(16)，并且所述两种反应物在加热时形成铝钛润湿层(12)。

2.根据权利要求1所述的蒸发器体(2)，

其特征在于，

所述两种反应物借助悬浮剂而被涂覆在所述蒸发器表面(6)上。

3.根据权利要求2所述的蒸发器体(2)，

其特征在于，

所述悬浮剂被压印在所述蒸发器表面(6)上。

4.根据权利要求2所述的蒸发器体(2)，

其特征在于，

氢化钛在所述悬浮剂中的比例按重量百分比计处于2％至10％之间。

5.根据权利要求2所述的蒸发器体(2)，

其特征在于，

氢化钛在所述悬浮剂中的比例按重量百分比计处于4％。

6.根据权利要求2所述的蒸发器体(2)，

其特征在于，

铝在所述悬浮剂中的比例按重量百分比计处于6％至30％。

7.根据权利要求2所述的蒸发器体(2)，

其特征在于，

铝在所述悬浮剂中的比例按重量百分比计处于12％。

8.根据权利要求2-7中任一项所述的蒸发器体(2)，

其特征在于，

所述悬浮剂具有漆作为承载介质。

9.一种制备用于PVD涂层设备的蒸发器体(2)的方法，蒸发器体(2)含有氮化硼和二硼化钛，其中，在所述蒸发器体(2)的基体(4)的蒸发器表面(6)上涂覆有包含由氢化钛构成的第一反应物和由铝或含铝的基质构成的第二反应物的涂层(16)，并且所述基体(4)随后被加热，使得所述两种反应物形成铝钛润湿层(12)。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述加热在所述蒸发器体(2)首次投入使用时进行，并且紧接随后地，所述润湿层(12)的待蒸发材料被供给。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中，包含所述两种反应物的悬浮剂通过压印方法而被涂覆。