[发明专利]基板检查时的补偿矩阵生成方法

说明书

本发明涉及基板检查时的补偿矩阵生成方法。所述方法包括：在基板上的测量区域(FOV)内，任意选择预先设置的N1(N1≥2)个特征客体的信息的步骤；以所述基板上的提取的特征客体的信息为基础，生成第一补偿矩阵的步骤；把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值，从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的数量进行计数的步骤；把所述步骤反复执行N2次(N2≥1)，在所述计数的特征客体的数量为最大的情况下，利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信息，生成第二补偿矩阵的步骤。

技术领域

本发明涉及基板检查时的补偿矩阵生成方法，更详细而言，涉及一种提取与补偿矩阵模型一致的特征客体，生成补偿矩阵，并检测生成的补偿矩阵的有效性的基板检查时的补偿矩阵生成方法。

背景技术

一般而言，在电子装置内，具备至少一个印刷电路板(printed circuitboard；PCB)，在这种印刷电路板上，贴装有电路图案、连接衬垫部、与所述连接衬垫部电气连接的驱动芯片等多样的电路元件。

一般而言，为了确认如上所述的多样的电路元件是否在所述印刷电路板上正确形成或配置，使用形状测量装置。

以往的形状测量装置设置既定的测量区域(Field of View,FOV)，在所述测量区域内检查既定的电路元件是否正确形成。

就测量区域而言，只有在需要测量的位置正确地设置，才能正确执行对需要测量的电路元件的测量，但诸如印刷电路板的测量对象物会发生基板弯曲(warp)、扭曲(distortion)等歪曲，因而需要对其进行补偿。

为此，可以利用测量区域上的诸如弯曲图案或孔图案等特征客体而生成补偿矩阵，补偿测量区域内的衬垫位置。此时，生成的补偿矩阵是否可靠会成为问题。因此，要求一种能够提高补偿矩阵的可靠性的补偿矩阵生成方法。

发明内容

解决的技术问题

为了解决所述技术课题，本发明的目的是提供一种基板检查时的补偿矩阵的生成方法，用于在利用现在的测量区域(FOV)内的特征客体的信息生成补偿矩阵的情况下，提取与补偿矩阵的模型一致的特征客体，生成补偿矩阵，并判断生成的补偿矩阵的有效性。

本发明的目的不限于以上提及的内容，未提及的其它目的是本发明所属技术领域的技术人员可以从以下记载而明确理解的。

技术方案

旨在解决所述课题的本发明一种形态的基板检查时的补偿矩阵生成方法包括：在基板上的测量区域(FOV)内，任意选择预先设置的N1(N1≥2)个特征客体的信息的步骤；以所述基板上的提取的特征客体的信息为基础，生成第一补偿矩阵的步骤；把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值，从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的数量进行计数的步骤；把所述步骤反复执行N2次(N2≥1)，在所述计数的特征客体的数量为最大的情况下，利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信息，生成第二补偿矩阵的步骤。

所述方法可以还包括：把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述第二补偿矩阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值，从而提取所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的步骤；及以所述提取的特征客体的信息为基础，生成第三补偿矩阵的步骤。

所述第一补偿矩阵及所述第二补偿矩阵可以为仿射变换(affinetransformation)行列或投影变换(projective transformation)行列之一。

所述N2根据下面的数学式决定，