[发明专利]微加热板装置和具有微加热板装置的传感器

权利要求书

1.一种微加热板装置，其具有：

膜片承载装置(10)；

膜片(12)，所述膜片至少部分地跨越至少一个构造在所述膜片承载装置(10)中的空穴(14)；以及

至少一个布置在所述膜片(12)上和/或中的加热管路(16)；

至少一个反射体元件(18)，所述至少一个反射体元件如此悬挂在所述膜片(12)的内侧(12a)上和/或构造在所述空穴(14)的远离所述膜片(12)定向的背侧(14a)上，使得由所述至少一个加热管路(16)和/或所述膜片(12)发射的热辐射能够借助于所述至少一个反射体元件(18)至少部分地反射回到所述膜片(12)上和/或中，

其特征在于，所述膜片(12)和/或所述至少一个反射体元件(18)具有至少一个等离激元结构(24a、24b)的模式。

2.根据权利要求1所述的微加热板装置，其中，所述膜片承载装置(10)包括衬底，通过所述衬底结构化所述空穴(14)，其中，所述衬底借助于键合连接或粘接连接(30)如此固定在如下承载板(32)上，在所述承载板上布置有所述至少一个反射体元件(18)或者至少一个另外的反射体元件，使得所述至少一个反射体元件(18)位于所述空穴(14)的背侧(14b)上。

3.根据权利要求1或2所述的微加热板装置，其中，在所述膜片(12)的外侧(12b)上布置有至少一个前反射体元件(34)。

4.根据权利要求3所述的微加热板装置，其中，所述至少一个反射体元件(18)和/或所述至少一个前反射体元件(34)具有椭圆或抛物面形状。

5.根据权利要求1或2所述的微加热板装置，其中，所述微加热板装置构造为用于传感器的传感器构件，并且在所述膜片(12)上和/或中包括至少一种灵敏材料，所述至少一种灵敏材料具有至少一个物理参量，所述至少一个物理参量取决于至少一种物质的物质浓度。

6.一种传感器，其具有根据以上权利要求中任一项所述的微加热板装置。