[发明专利]利用一氧化碳激光器在印刷电路板中钻导通孔

权利要求书

1.用于对工件进行激光钻孔的装置，包括：

第一声光调制器；

一氧化碳(CO)激光器，其发射激光辐射线脉冲，所述激光辐射线脉冲中的辐射线具有波长范围在4.5微米与6.0微米之间的多个波长，所述激光辐射线脉冲具有临时上升沿和临时下降沿，并且所述激光辐射线脉冲沿入射方向入射到所述第一声光调制器上；

所述第一声光调制器布置成接收所述激光辐射线脉冲，分散激光辐射线脉冲的中央临时部分，在与所述入射方向成一角度的波长相关分散方向的第一范围内，排除所述上升沿的部分和所述下降沿的部分，以及沿着所述入射方向发射所述激光辐射线脉冲的残留部分；

分散补偿器，其布置成接收激光辐射线脉冲的中央临时部分以及减少分散方向的范围至小于所述第一范围的第二范围；

以及

至少一个光学元件，其布置成将来自所述分散补偿器的临时脉冲部分消色差聚焦到所述工件上。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述分散补偿器包括至少一个棱镜。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述分散补偿器包括两个棱镜。

4.如权利要求2所述的装置，其中所述棱镜是硫化锌棱镜。

5.如权利要求1所述的装置，其中所述分散补偿器是第二声光调制器。

6.如权利要求1所述的装置，其中所述激光辐射线脉冲的中央临时部分由所述第一声光调制器的第一部分分散，所述分散补偿器是所述第一声光调制器的第二部分，并且所述装置进一步包括至少一个反射光学元件，所述反射光学元件布置成使得绕光学路径的所述激光辐射线脉冲的分散的临时中部分转向到所述第一声光调制器的所述第二部分中。

7.如权利要求6所述的装置，其中所述至少一个反射光学元件是平面反射光学元件。

8.如权利要求6所述的装置，其中所述第一声光调制器的所述第一部分和第二部分之间的光学路径的长度足以使得在整个脉冲已经遍历所述第一声光调制器的第一部分之后脉冲的分散的中央部分到达所述第一声光调制器的所述第二部分。

9.如权利要求6所述的装置，其中所述装置包括两个平面反射光学元件，其布置成使得绕光学路径的所述激光辐射线脉冲的分散的临时中央部分转向到所述第一声光调制器的所述第二部分中。

10.如权利要求6所述的装置，其中所述装置包括平面反射光学元件以及第一和第二凹形反射光学元件，所述第一和第二凹形反射光学元件布置成使得绕所述光学路径的激光辐射线脉冲的分散的临时中央部分转向到所述第一声光调制器的所述第二部分中。

11.如权利要求10所述的装置，其中所述第一和第二凹形反射光学元件具有相同的焦距，布置成面对面，并且间隔开两倍所述焦距。

12.如权利要求11所述的装置，其中所述激光辐射线脉冲的分散的中央部分从所述第一凹形反射光学元件反射到所述第二凹形反射光学元件，从所述第二凹形反射光学元件反射到所述平面反射光学元件，以及从所述平面反射光学元件反射到所述第一声光调制器的所述第二部分。

13.如权利要求1所述的装置，其中所述至少一个聚焦光学元件是凹镜。

14.如权利要求1所述的装置，其中分散方向的所述第二范围近似平行。