[发明专利]保管库

说明书

技术领域

本发明涉及能够同时保管尺寸不同的多个种类的货物的保管库。

背景技术

一直以来，已知有具备多个收纳架以及相对于各收纳架进行货物的移载的堆装起重机的保管库。此外，已知有具备在设置于保管库的入库用的装载口以及出库用的装载口之间进行货物的入库出库的无人的输送车等的输送系统。在这样的输送系统中，对输送中或者保管中的货物进行定位，准确地进行货物的移载。

作为在上述的保管库或者输送系统中处理的货物，例如能够举出能够容纳多个半导体晶片等的基板的被称作FOUP(Front Opening Unified Pod)的收纳用容器。这样的收纳用容器主要为了在设置输送系统的制造工厂等的设施内，在沿着输送车的路径的多个工序间或者各工序内输送或者暂时保管多个半导体晶片而使用的(例如，参照专利文献1。)。

在容纳半导体晶片等的基板的收纳用容器中形成有用于定位的卡合用的槽(或者孔)，以便准确地进行朝各种制造装置的交接。在该情况下，在用于输送收纳用容器的堆装起重机等的输送装置、保管库的收纳架设置有与卡合用的槽等卡合的定位销，能够在保管中或者输送中限制收纳用容器的位置错开，并且能够使收纳用容器相对于自动化仓库等的收纳架等准确地移载。

收纳用容器根据所收纳的基板的尺寸而其尺寸不同，根据收纳用容器的尺寸预先设定卡合用的槽的配置。因而，当收纳用容器的大小不同时，用于定位的槽的配置也不同。与此对应，输送装置的定位销也需要与设置于收纳用容器的卡合用的槽相匹配地配置。在FOUP的例子中，在用于收纳口径为300mm的半导体晶片的FOUP、以及用于收纳口径为450mm的半导体晶片的FOUP中，尺寸分别不同，槽的配置也不同。因而，输送、保管收纳用容器的输送系统也根据容器的尺寸而使用分别独立的系统(例如，参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－287877号公报

专利文献2：日本特开2003－142551号公报

发明内容

发明所要解决的课题

如上所述，需要根据货物的尺寸准备保管库及输送系统，因此，当在同一设施内处理不同尺寸的货物的情况下，装置结构变得复杂，存在成本增加的问题。

本发明的课题在于能够在同一系统中处理不同尺寸的货物，并能够在同一保管库中保管不同尺寸的货物。

用于解决课题的手段

以下，作为用于解决课题的手段对多个方式进行说明。这些方式能够根据需要任意地组合。

本发明的一个观点的保管库具备保管部、装载口、输送装置、暂存部以及移载装置。在保管部保管第1货物以及第2货物。第2货物的形状或者大小与第1货物不同，第2货物能够载置于附属装置来进行输送。保管部具有能够载置第1货物或者载置于附属装置的第2货物的架。第1货物或者载置于附属装置的第2货物载置于装载口，以便使第1货物或者载置于附属装置的第2货物入库至保管部内、以及/或者使第1货物或者载置于附属装置的第2货物从保管部出库。输送装置能够在保管部与装载口之间输送第1货物或者载置于附属装置的第2货物。暂存部能够暂时保管附属装置。移载装置能够在暂存部与装载口之间移载附属装置。

在该情况下，附属装置构成为当第2货物载置于附属装置时形状或者大小与第1货物类似。

在对第2货物进行入库的情况下，将从其他的装置输送而来的第2货物载置在预先载置于装载口的附属装置上。另外，预先载置于装载口的附属装置例如是由移载装置从例如暂存部移载的。接着，第2货物在载置于附属装置的状态下由输送装置从装载口入库至保管部内的架。

在对第2货物进行出库的情况下，配置于保管部的架的第2货物在载置于附属装置的状态下由输送装置从架出库至装载口。接着，出库的第2货物被输送至其他的装置，在装载口残留附属装置。残留于装载口的附属装置由移载装置移载至暂存部。

如以上那样，能够利用移载装置和暂存部容易地进行暂存部与装载口之间的附属装置的移载。结果，能够使用共同的架、装载口、输送装置将第1货物以及载置于附属装置的第2货物同样地加以处理。

也可以为，保管库还具备能够控制输送装置的控制部。在该情况下，也可以为，作为对第2货物进行入库的作业，控制部使输送装置将载置于附属装置的第2货物从装载口输送至保管部。

也可以为，作为对第2货物进行出库的作业，控制部使输送装置将载置于附属装置的第2货物从保管部输送至装载口。

也可以为，保管库还具备第2输送装置，该第2输送装置能够在保管部与暂存部之间输送附属装置。