[发明专利]溅射装置以及溅射装置的膜卷的更换方法

权利要求书

1.一种溅射装置，其特征在于，该溅射装置具有：

供给侧膜卷室，其具有膜供给机构；

供给侧真空泵，其用于对所述供给侧膜卷室进行排气；

供给侧主阀，其能够将所述供给侧膜卷室和所述供给侧真空泵之间气密 地密封；

收纳侧膜卷室，其具有膜收纳机构；

收纳侧真空泵，其用于对所述收纳侧膜卷室进行排气；

收纳侧主阀，其能够将所述收纳侧膜卷室和所述收纳侧真空泵之间气密 地密封；

成膜室，其具有成膜辊、与所述成膜辊相对的靶材以及支承所述靶材的 阴极；

供给侧加载互锁阀，其设置在所述供给侧膜卷室和所述成膜室之间；

收纳侧加载互锁阀，其设置在所述收纳侧膜卷室和所述成膜室之间。

2.根据权利要求1所述的溅射装置，其特征在于，

所述供给侧真空泵和所述收纳侧真空泵是涡轮分子泵。

3.一种溅射装置的膜卷的更换方法，其特征在于，该更换方法具有：

在供给侧真空泵处于运转的状态下，关闭供给侧膜卷室和所述供给侧真 空泵之间的供给侧主阀，从而将所述供给侧膜卷室和所述供给侧真空泵之间 气密地密封的工序；

将供给侧的膜的终端残留在所述供给侧膜卷室，并且在有所述膜通过所 述供给侧膜卷室和成膜室之间的供给侧加载互锁阀的状态下将该供给侧加 载互锁阀关闭，从而将所述供给侧膜卷室和所述成膜室之间气密地密封的工 序；

将所述供给侧膜卷室向大气开放的工序；

更换供给侧膜卷，并且将所述膜的终端与新膜的顶端相结合的工序；

打开所述供给侧主阀，利用所述供给侧真空泵对所述供给侧膜卷室进行 排气的工序；

打开所述供给侧加载互锁阀，以解除所述供给侧膜卷室和所述成膜室之 间的气密密封的工序。

4.一种溅射装置的膜卷的更换方法，其特征在于，该更换方法具有：

在收纳侧真空泵处于运转的状态下，关闭收纳侧膜卷室和所述收纳侧真 空泵之间的收纳侧主阀，从而将所述收纳侧膜卷室和所述收纳侧真空泵之间 气密地密封的工序；

在有膜通过所述收纳侧膜卷室和成膜室之间的收纳侧加载互锁阀的状 态下将该收纳侧加载互锁阀关闭，从而将所述收纳侧膜卷室和所述成膜室之 间气密地密封的工序；

将所述收纳侧膜卷室向大气开放的工序；

取出收纳侧膜卷，将所述膜与膜收纳机构相结合的工序；

打开所述收纳侧主阀，利用所述收纳侧真空泵对所述收纳侧膜卷室进行 排气的工序；

打开所述收纳侧加载互锁阀，以解除所述收纳侧膜卷室和所述成膜室之 间的气密密封的工序。