[发明专利]光学模块

说明书

光学模块(1A)包括：半导体基板(2)；静电致动器(10)，其具有固定部(11)和可动部(12)，该固定部(11)固定在半导体基板(2)，该可动部(12)通过在与固定部(11)之间产生的静电力相对于固定部(11)移动；第一弹簧部(20)，其与可动部(12)连接，具有第一弹簧常数K1；第二弹簧部(30)，其连接至第一弹簧部(20)与半导体基板(2)之间，具有比第一弹簧常数K1大的第二弹簧常数K2；可动反射镜(5)，其是连接至第一弹簧部(20)与第二弹簧部(30)的连接部(13)的光学部件，由此实现能够使用静电致动器、稳定且高精度地使光学部件动作的光学模块。

技术领域

本发明涉及使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术的光学模块。

背景技术

作为使用MEMS技术的光学模块，例如具有包括静电致动器和法布里-珀罗干涉滤光器的光学模块。在法布里-珀罗干涉滤光器，利用静电致动器使一对反射镜间的距离发生变化，使具有与该距离相应的波长的光透射。因此，为了提高法布里-珀罗干涉滤光器的波长分辨率，需要使用静电致动器使反射镜稳定且高精度地动作。

因此，提案有通过检测静电致动器的静电电容的变化来控制反射镜的动作的技术(例如，参照专利文献1)。根据该技术，与施加电压的不稳定程度、周围温度的变化等无关，均能够使反射镜恰当地动作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2011/0222067号

发明内容

发明所要解决的问题

但是，越提高法布里-珀罗干涉滤光器的波长分辨率，越不容易恰当地检测静电致动器的静电电容的微小变化。因此，根据专利文献1记载的技术，也存在不能使用静电致动器使反射镜稳定且高精度地动作的问题。

因此，本发明的目的在于，提供能够使用静电致动器使光学部件稳定且高精度地动作的光学模块。

用于解决问题的方式

本发明的光学模块包括：半导体基板；静电致动器，其具有固定部和可动部，该固定部固定在半导体基板，该可动部通过在与固定部之间产生的静电力相对于固定部移动；第一弹簧部，其与可动部连接，具有第一弹簧常数；第二弹簧部，其连接至第一弹簧部与半导体基板之间，具有比第一弹簧常数大的第二弹簧常数；和连接至第一弹簧部与第二弹簧部的连接部的光学部件。

在该光学模块，静电致动器的可动部与具有第一弹簧常数的第一弹簧部连接，光学部件连接至第一弹簧部与第二弹簧部的连接部。此外，第一弹簧常数设定得比第二弹簧常数小。因此，与通过静电力移动的静电致动器的可动部的移动距离相比，光学部件的移动距离小。因此，通过利用可动部的移动距离的控制来控制光学部件的移动距离，能够使用静电致动器使光学部件稳定且高精度地动作。

发明的效果

根据本发明，能够提供能够使用静电致动器使光学部件稳定且高精度地动作的光学模块。

附图说明

图1是第一实施方式的光学模块的平面图。

图2是图1的光学模块的沿II-II线的截面图。

图3是表示图1的光学模块的电路结构的图。

图4是表示图1的光学模块的动作原理的图。

图5(a)、(b)是表示图1的光学模块的制造工序的截面图。

图6(a)、(b)是表示图1的光学模块的制造工序的截面图。

图7是表示图1的光学模块的制造工序的截面图。