[发明专利]热敏感层气体传感器

权利要求书

1.一种热敏感层传感器，包括：

绝缘基底，承载敏感层；

以两个相邻导电道的形式的两个互补测量电极，被配置为与所述敏感层电接触；以及

以电阻道的形式的加热元件，被布置在所述基底上，用于均匀加热所述敏感层的有源区；

其中所述电阻道包括至少三个沿所述电阻道长度匀称间隔的电力供应点，且每个位列奇数的点由相同的第一电源电压供电，而每个位列偶数的点由相同的第二电源电压供电。

2.根据权利要求1所述的传感器，包括：

第一共用电源线路，被连接到所述电阻道的所述位列奇数的点；以及

第二共用电源线路，被连接到所述电阻道的所述位列偶数的点。

3.根据权利要求1所述的传感器，其中投射到所述电阻道的平面上的所述电极的所述导电道的版图，保持在限定所述电阻道周围的边界外面。

4.根据权利要求3所述的传感器，其中所述电阻道和所述电极的所述导电道共面。

5.根据权利要求3所述的传感器，其中在所述敏感层的所述有源区中所述电阻道和所述电极的所述导电道的方向变化具有非零的曲率半径。

6.根据权利要求5所述的传感器，其中所述电阻道包括连续的U形弧，且所述两个导电道与所述电阻道平行，进入每个弧，最远离所述电阻道的所述导电道当退出弧时结束，而邻近所述电阻道的所述导电道当退出弧时在所述最远的导电道的末端周围形成U形转弯以返回到所述弧中。

7.根据权利要求6所述的传感器，其中所述电阻道与所述导电道共面，而且还与所述敏感层电接触，邻近所述电阻道的所述导电道被设置为地电压，以致在所述电阻道和所述相邻的导电道之间的所述敏感层中流过的任何电流不干扰在所述导电道之间流过的电流。

8.根据权利要求2所述的传感器，其中所述第一和第二共用电源线路之间施加的电压至多等于5.7v除以所述电力供应点之间存在的段的数目。