[发明专利]具有底盘的净化室-运输容器

权利要求书

1.具有底盘的净化室-运输容器，

其中，在大气方面封闭的、用于基片（11）的运输容器（1）具有能够封闭的、端侧的装料口（3）并且通过装有轮子的、安放在行驶平面（11）上的底盘（6）能够移到用于相对工作站（8）的对接平面（13）对接的原始位置中；

其中，设置了接合装置（12），通过所述接合装置在所述原始位置中所述底盘（6）和由这个底盘支承的运输容器（1）作为工作单元在底盘侧在所述行驶平面（11）的附近并且在与所述工作站（8）的对接平面相邻的情况下被抓住并且通过回转轴得到保持；并且

其中，所述运输容器（1）能够偏转到与所述工作站（8）的对接位置中，

其特征在于，

用于包括底盘（6）和运输容器（1）的工作单元（7）的回转轴作为旋转支撑机构（25）对于所述工作单元形成平放的支承轴；

所述底盘（6）和通过所述底盘（6）支承的运输容器（1）关于所述支承轴彼此是位置固定的并且在总体上在保持其彼此间位置的情况下相对于所述支承轴且围绕所述支承轴能够回转；

所述接合装置（12）被驱动；并且

所述包括底盘（6）和运输容器（1）的工作单元（7）能够通过所述被驱动的接合装置（12）围绕所述支承轴偏转到相对于所述行驶平面（11）被抬起的、与相应的工作站（8）的连接位置中。

2.按权利要求1所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述接合装置（12）被分配给相对于相应的工作站（8）得到固定的中间构件（41、42）。

3.按权利要求1所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述接合装置具有抓住底架的并且能够接入到所述底架中的支承臂，所述支承臂在所述支承轴上得到支撑的情况下以能够旋转的方式被驱动。

4.按权利要求2所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述接合装置具有抓住底架的并且能够接入到所述底架中的支承臂，所述支承臂在所述支承轴上得到支撑的情况下以能够旋转的方式被驱动。

5.按权利要求4所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述支承臂通过处于所述中间构件中的旋转驱动装置以能够围绕所述回转轴旋转的方式被驱动。

6.按权利要求5所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述旋转驱动装置构造为蜗杆传动装置。

7.按权利要求3或4所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在所述底架处为所述支承臂分配了接纳凹处，并且被接纳在所述接纳凹处中的支承臂相对于所述底架定心地定向。

8.按权利要求1至6中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述底盘（6）具有通过工作轮（14）得到支承的架构（15），该架构在所述工作单元（7）通过所述工作轮（14）支撑在所述行驶平面（11）上的行驶位置中相对于所述行驶平面（11）倾斜地延伸。

9.按权利要求8所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

所述架构（15）具有支承支架，所述支承支架相对于所述行驶平面（11）在所述行驶位置中具有与所述运输容器（11）的倾斜度互补的倾斜度。

10.按权利要求1至6中任一项所述的净化室-运输容器，

其特征在于，

在所述底盘（6）方面设置的、用于安上的运输容器（11）的支承架（21）在驱动单元（7）中具有用于所述运输容器（11）的驱动及闭锁机构。