[发明专利]用于将多个薄的固体层与厚的固体分离的组合制造方法在审
| 申请号： | 201480055767.2 | 申请日： | 2014-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN105899716A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 沃尔弗拉姆·德雷舍尔;扬·黎克特 | 申请（专利权）人： | 西尔特克特拉有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B33/06 | 分类号： | C30B33/06;B23K26/00;B28D1/22;H01L21/762 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;周涛 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 将多个薄 固体 分离 组合 制造 方法 | ||
【说明书】：
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