[发明专利]工件的切断方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种工件的切断方法，该工件的切断方法使用线锯。

背景技术

近年来，期望半导体晶圆的大型化，随着此大型化而使用专门用于切断工件的线锯。

线锯是使钢线(高张力钢线)高速行进，在此一边浇上浆液，一边压抵工件(例如，以硅晶棒来举例)而切断，以同时切出多片晶圆的装置(参照专利文献1)。

此处，在图6中表示现有的通常的线锯的一例的概要。

如图6所示，线锯101，主要由下述构件等所构成：钢线102，其用于切断工件；线材导件103，其卷绕有钢线102；张力赋予机构104，其用于赋予钢线102张力；工件进给装置105，其送出要被切断的工件；喷嘴106，其在切断时用于供给浆液，该浆液是在冷却剂中分散混合有SiC微粉等磨粒而成的。

钢线102从一侧的线滚动条(ワイヤリールボビン)107送出，经由移车台(トラバーサ)108，再经过由磁粉离合器(定转矩马达109)或上下跳动滚筒(静重)(未图示)等所构成的张力赋予机构104，进入线材导件103。钢线102卷绕于此线材导件103约300～400次之后，经过另一侧的张力赋予机构104’而卷绕在线滚动条107’上。

此外，线材导件103是在钢铁制圆筒的周边压入聚胺酯树脂，并在其表面以一定的间距切出沟槽而成的滚筒，卷绕的钢线102可通过驱动用马达110而以预定的周期在往复方向上驱动。

而且，在线材导件103与卷绕的钢线102的附近，设有喷嘴106，在切断时，可从该喷嘴106供给浆液至线材导件103、钢线102上。而且，在切断后作为废浆液而排出。

使用这种线锯101，使用张力赋予机构104来将适当的钢线张力施加至钢线102上，并通过驱动用马达110来使钢线102在往复方向上行进，且一边供给浆液一边将工件切片，由此得到所期望的切片晶圆。

此外，针对上述线锯所使用的钢线102，将用于切断一个工件而供给的份量的钢线102的长度，称为新线供给量。

钢线102卷绕在线滚动条107上的长度是数百km的份量，利用卷绕在该线滚动条107上的钢线102来切断多个工件。

在晶圆的制造成本中包含了钢线的成本，当要降低此费用时，有下述方法：利用减少每一个工件所需要的新线供给量，来增加每一个线滚动条能够切断的工件个数。

例如，在卷绕有510km的线滚动条中，将每一个工件的切断所使用的新线供给量设为170km，就能够进行3个工件的切断。将每一个工件的切断的新线供给量设为一半的85km，由此同样的钢线的长度，即一个线滚动条能够切断的工件个数就能够增加成6个。

这样，减少每一个工件的切断所使用的新线供给量，由此减少每一个工件的切断所使用的钢线的量，所以能够增加以一个线滚动条能够切断的工件个数，而能够降低钢线的成本。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开平成10-86140号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

但是，上述方法会有下述的问题点：相较于减少新线供给量之前，切断工件时的钢线本身磨损的量，会对应于所减少的新线供给量而变大，从而钢线的直径会变细。若钢线的直径变细，则会使切断后的晶圆质量变差。

将晶圆的翘曲，举例作为评价晶圆质量的代表。理想是切断后的晶圆是平坦且翘曲小。但是，若钢线的直径变细，则附着在钢在线的浆液的保有量变少，使得切断效率降低，因此造成切断后的晶圆的翘曲变大。

此外，钢线的直径变细会使钢线的抗断强度降低，所以在工件的切断中容易造成钢线的断裂。

若在工件的切断中发生钢线的断裂，则切断就会中断，而需要许多功夫和时间来进行恢复作业，从而使晶圆的生产效率显著地降低。进一步，在造成钢线断裂时，切断后的晶圆质量会大幅变差。因此，在工件的切断中的钢线断裂，理想是尽量不要发生。

如上所述，作为减少每一个工件的切断所使用的新线供给量的方法的替换方法，有再次使用已使用过的钢线的方法。将已使用在第一次工件的切断中的已使用过的钢线，以相同条件再次使用，由此能够增加以一个线滚动条能够切断的工件个数。

但是，若利用该方法而再次使用钢线时，因为所述理由，已使用过的钢线，在钢线的切断时容易造成钢线的断裂。此外，会造成切断后的晶圆的翘曲变大。