[发明专利]高频电源装置以及等离子体点火方法

权利要求书

1.一种高频电源装置的等离子体点火方法，从高频电源装置施加高频电力来使等离子体点火，该等离子体点火方法的特征在于，

上述高频电源装置具有：

通过时间上断续输出的脉冲输出使等离子体点火的等离子体点火工序；

在通过该等离子体点火工序等离子体点火后，供给用于维持已点火的等离子体的驱动电力的等离子体驱动电力供给工序，

上述等离子体点火工序具有输出用于使等离子体点火的点火脉冲的点火脉冲输出动作，

上述各点火脉冲具有：电力小于主脉冲的在主脉冲之前的阶段输出的具有预先设定的个数且具有预先设定的相等的占空比的预脉冲和在预脉冲后输出的初始的主脉冲，

在通过上述等离子体点火工序等离子体点火后，转移到供给用于维持已点火的等离子体的驱动电力的等离子体驱动电力供给工序；其中，

关于上述预脉冲的脉冲输出的电力，通过该脉冲输出产生的反射电力的平均反射电力在构成高频电源的电力元件的容许损失以下。

2.根据权利要求1所述的高频电源装置的等离子体点火方法，其特征在于，

在进行上述点火脉冲输出动作的期间内，上述预脉冲的输出间隔任意地自由设定。

3.一种高频电源装置，其施加高频电力来使等离子体点火，其特征在于，

具备输出高频输出的脉冲输出的脉冲输出部，

上述脉冲输出部具备：

点火脉冲形成部，其形成通过时间上断续输出的脉冲输出使等离子体点火的点火脉冲；

驱动脉冲形成部，其形成在通过上述点火脉冲等离子体点火后，供给用于维持已点火的等离子体的驱动电力的驱动脉冲，

各点火脉冲具有电力小于主脉冲的在主脉冲之前的阶段输出的具有预先设定的个数且具有预先设定的相等的占空比的预脉冲和在预脉冲后输出的初始的主脉冲，

上述驱动脉冲形成部在通过上述点火脉冲等离子体点火后，供给用于维持已点火的等离子体的驱动电力；其中

上述点火脉冲形成部在上述预脉冲的脉冲输出的电力中，使通过该脉冲输出产生的反射电力的平均反射电力在构成高频电源的电力元件的容许损失以下。

4.根据权利要求3所述的高频电源装置，其特征在于，

上述点火脉冲形成部在上述点火脉冲的形成中，任意地自由设定上述预脉冲的输出间隔。