[发明专利]利用压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法

权利要求书

1.一种聚酰亚胺的精细图案形成方法，在聚酰亚胺膜的表面形成精细的凹凸图案，其特征在于，

所述聚酰亚胺的精细图案形成方法包括：

成膜工序，形成聚酰亚胺膜，所述聚酰亚胺膜由具有感光性的能够在玻璃转变温度以下成形的已酰亚胺化的溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂组合物构成；

热压印工序，将所述聚酰亚胺膜在玻璃转变温度以下的温度中加热，并通过形成有凹凸的模具按压而加压成形；

冷却脱模工序，使所述聚酰亚胺膜和所述模具冷却而使所述模具从所述聚酰亚胺膜脱模；

曝光工序，向所述聚酰亚胺膜照射紫外线而进行曝光；以及

热处理工序，加热所述聚酰亚胺膜而使所述聚酰亚胺膜热固化，

在所述热处理工序中，所述热固化是通过在从室温升高到热处理温度的中途将所述溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂组合物在一定时间内保持于曝光后烘烤温度的两阶段加热而进行的。

2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺的精细图案形成方法，其特征在于，

所述精细图案是具有矩形截面的亚微米图案。

3.根据权利要求1或2所述的聚酰亚胺的精细图案形成方法，其特征在于，

所述溶剂可溶性聚酰亚胺是嵌段共聚聚酰亚胺。

4.一种聚酰亚胺，形成有亚微米图案，所述亚微米图案通过根据权利要求1至3中任一项所述的精细图案形成方法而制造，并具有矩形截面。