[发明专利]抗蚀剂剥离液在审
| 申请号： | 201480057086.X | 申请日： | 2014-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN105659167A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 渊上真一郎;坂田俊彦;有富礼子;铃木靖纪;五十岚轨雄;児玉明里 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂剥离液，其特征在于，含有链烷醇叔胺、极性溶剂、水、强碱剂以及还原 剂，且pH为12以上。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述还原剂包含鞣酸。
3.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述强碱剂包含选自四甲基 氢氧化铵、三甲基-2-羟乙基氢氧化铵、二甲基双(2-羟乙基)氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、烷 基氢化铵、碳酸胍中的至少一种。
4.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述链烷醇叔胺为N-甲基二 乙醇胺，所述极性溶剂为二乙二醇单丁基醚和丙二醇的混合溶剂。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述链烷醇叔胺为2 ～9质量％，
所述强碱剂为0.25～5.0质量％，
所述还原剂为0.02～3.0质量％。
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