[发明专利]输送装置

说明书

本发明提供能够向与回旋输送机邻接的部分稳定地交接被搬运物的输送装置。输送装置(50)具备：具有以支承被搬运物(5)的底面的方式搬运被搬运物的第一支承搬运部(53)的第一输送部(51)；使第一输送部回旋来使被搬运物的行进方向变化的回旋部(61)；以及与第一输送部邻接地设置且具有以支承被搬运物的底面的两端部的方式搬运被搬运物的一对第二支承搬运部(73、79)的第二输送部(71)。一对第二支承搬运部与向一对第二支承搬运部传递驱动力的驱动传递部(83)设于俯视情况下的第一输送部的回旋区域(A1)的外侧，以第二输送部的被搬运物的搬运区域(A2)与第一输送部的回旋区域在俯视情况下相互重叠的方式配置第一输送部以及第二输送部。

技术领域

本发明涉及输送装置。

背景技术

作为搬运被搬运物的搬运装置，已知有输送装置。另外，半导体制造装置、液晶制造装置所使用的晶片以及玻璃基板等被搬运物有时被收容于作为标准化的容器之一的FOUP(Front-Opening Unified Pod)等进行搬运。这样的搬运被搬运物的搬运装置中，为了抑制搬运中的被搬运物的破损等，需要减少搬运中的振动、晃荡等而以稳定的状态进行搬运。

例如在专利文献1(日本特公平6-2527号公报)中公开有进行了用于像这样以稳定的状态搬运被搬运物的研究的输送装置。专利文献1中公开了一种输送装置，沿搬运方向排列有多台利用通过驱动装置旋转的驱动带轮来使带单向移动的单元输送机。而且，在该输送装置，在单元输送机间设置辅助输送机，通过暂时支承被搬运物，来将其交接给相邻接的搬运装置。

专利文献1：日本特公平6-2527号公报。

近年来，引进了一种输送装置，输送部在大致矩形状的主体部上回旋，而用于改变被搬运物的行进方向的回旋输送机配置于搬运路径上。在这样的输送装置中，需要将被搬运物稳定地交接给与回旋输送机邻接的部分。然而，即使仅将上述以往的辅助输送机配置于回旋输送机与邻接于回旋输送机的部分之间，因为回旋输送机的回旋部分的回旋区域的关系，也无法使辅助输送机接近回旋输送机配置。因此，难以将被搬运物稳定地交接给与回旋输送机邻接的部分。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供能够将被搬运物稳定地交接给与回旋输送机邻接的部分的输送装置。

本发明的一个方面所涉及的输送装置具备：第一输送部，其具有以对被搬运物的底面进行支承的方式搬运被搬运物的第一支承搬运部；回旋部，其支承第一输送部，并使第一输送部回旋而使被搬运物的行进方向变化；以及第二输送部，其与第一输送部邻接地设置，并且具有以对被搬运物的底面中与搬运方向交叉的宽度方向上的两端部进行支承的方式搬运被搬运物的一对第二支承搬运部。第二输送部的一对第二支承搬运部、与向第二输送部的一对第二支承搬运部传递驱动力的驱动传递部设于在俯视情况下的第一输送部的回旋区域的外侧。另外，以第二输送部的被搬运物的搬运区域与第一输送部的回旋区域在俯视情况下相互重叠的方式配置有第一输送部以及第二输送部。

根据该输送装置，第二输送部的一对第二支承搬运部、与向第二输送部的一对第二支承搬运部传递驱动力的驱动传递部设于俯视情况下的第一输送部的回旋区域的外侧，因此第二输送部不阻碍第一输送部的回旋。另外，第二输送部的第二支承搬运部并未设为能够对被搬运物的搬运区域的整个面进行支承，而是设为仅能对搬运区域的宽度方向的两侧部分进行支承。因此，能够以避免在俯视情况下第一输送部的回旋区域与第二支承搬运部重叠并且使第一输送部的回旋区域与第二输送部的被搬运物的搬运区域重叠的方式配置第一输送部与第二输送部。由此，在从第一输送部向邻接的部分送出被搬运物时，能够使第二输送部的第二支承搬运部与第一输送部的第一支承搬运部接近。其结果，能够经由不是回旋输送机的第二输送部向作为回旋输送机的第一输送部所邻接的部分送出被搬运物，因此能够稳定地交接被搬运物。

另外，在一个实施方式中，也可以构成为：第一输送部具备以对被搬运物的底面中与搬运方向交叉的宽度方向上的两端部进行支承的方式搬运被搬运物的一对第一支承搬运部。