[发明专利]用于验证半导体裸片的方法和装置

说明书

本公开描述了用于基于器件的裸片验证的装置和技术。在一些方面中，在半导体处理期间改变粒子束的强度以提供具有改变的值的器件的半导体裸片。在其他方面中，在半导体处理期间露出半导体裸片的不同区域以提供具有值根据裸片不同而不同的器件的半导体裸片。对于每个半导体裸片来说，基于裸片的对应器件的值生成的值可以与裸片相关联，从而使能半导体裸片的后续验证。

相关申请的交叉参考

本公开要求2013年11月4日提交的美国临时专利申请第61/899,406号和2013年11月4日提交的美国临时专利申请第61/899,417号的优先权，其全部内容以引用的方式引入本申请。

背景技术

计算和电子设备通常存在于配件或消耗部件(诸如电池充电器、电池或喷墨盒)的生态系统中。典型地，设备的原始设备制造商(OEM)还设计和生产配件或消耗部件以确保与设备的兼容性和适当的功能。此外，一些OEM亏本销售设备并且通过售卖设备的配件和消耗部件来收回设备的开发和制造成本。然而，竞争对手通常复制OEM的配件和消耗部件来制造伪造版本，这些伪造版本的质量通常较低(例如，受限的功能或小容量)并且竞争对手以较低的价格售卖来赢得市场份额。如此，这些伪造的配件和消耗部件在市场中的存在不仅影响OEM的收入来源，而且消费者也不能够分辨OEM版本与低质量的伪造版本。

发明内容

以下在附图和说明书中阐述一个或多个实施方式的细节。其他特征和优势将从说明书和附图中变得明显。如此，该发明内容部分不应示为描述基本特征且不用于限制所要求主题的范围。

描述了一种用于向裸片的半导体层施加掩模的方法，其中掩模被配置为露出半导体层的与裸片的器件对应的区域。然后，该方法改变施加于半导体层的暴露区域的粒子束的强度，有效改变器件的相应值。器件是电路的一部分，基于器件的相应值从中生成数值。然后，数字被写入裸片的非易失性存储器，从而将数值与用于随后的裸片验证操作的裸片相关联。

描述了另一种用于向裸片的多个实例的半导体层施加掩模的方法，其中掩模被配置为露出每个实例的半导体层的不同区域。每个实例的不同区域与由裸片的结构限定的器件的不同子集相对应。该方法随后向半导体层的不同区域施加粒子束，有效改变器件的不同子集的相应值。对于裸片的每个实例，基于实例的器件的子集的值生成数值。每个实例的数值随后被其写入非易失性存储器，以使能裸片的实例的后续验证。

描述了一种芯片上系统，其包括不可见的逻辑器件和验证器，验证器被配置为经由包括不可见的逻辑器件的电路基于不可见的逻辑器件的相应值生成数值。然后，验证器将生成的数与存储在芯片上系统的非易失性存储器中的参考数进行比较以确定芯片上系统是否是可信的。如果生成的数与参考数相匹配，则验证器确定芯片上系统是可信的并且能够实现其各种功能。

以下在附图和说明书中阐述了一个或多个实施方式的细节。其他特征和优点将从说明书和附图中变得明显。

附图说明

在附图中，参考标号的最左边的数字识别参考标号首先出现的附图。说明书和附图中在不同实例中使用相同的参考标号表示类似的元件。

图1示出了根据一个或多个方面的具有主机设备和外围设备的操作环境。

图2示出了可以实施不可见的器件的示例性半导体结构。

图3示出了改变粒子束的强度以改变半导体器件的值的示例性方法。

图4示出了根据一个或多个方面的具有不可见的半导体器件的示例性裸片和逻辑电路。

图5示出了改变用于裸片的不同对应实例的器件的不同子集的值的示例性方法。

图6示出了根据一个或多个方面的在半导体晶圆上实施的裸片的示例性阵列。

图7示出了基于裸片的不可见的器件的值的验证的示例性方法。