[发明专利]实质上由锌、锡和氧组成的氧化物的蚀刻液和蚀刻方法

权利要求书

1.一种蚀刻方法，其是使用蚀刻液对包含氧化物的基板进行蚀刻的方法，所述氧化物实质上由锌、锡和氧组成，所述蚀刻液为实质上由锌、锡和氧组成的氧化物的蚀刻中使用的蚀刻液，其包含：(A)选自由硫酸、甲磺酸和它们的盐组成的组中的1种以上和水，pH值为-1～0.7，且该蚀刻液的铜、铝、钼和钛在35℃的蚀刻速率小于2nm/分钟，实质上由锌、锡和氧组成是指，氧化物中所含的锌、锡和氧的含量的总和为99质量％以上。

2.根据权利要求1所述的蚀刻方法，所述蚀刻液还包含(B)羧酸，其中，不包括草酸。

3.根据权利要求2所述的蚀刻方法，其中，(B)羧酸为选自由乙酸、乙醇酸、丙二酸、马来酸、琥珀酸、苹果酸、酒石酸、甘氨酸和柠檬酸组成的组中的1种以上。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的蚀刻方法，所述蚀刻液还包含(C)聚磺酸化合物。

5.根据权利要求4所述的蚀刻方法，其中，(C)聚磺酸化合物为选自由萘磺酸福尔马林缩合物或其盐、聚氧乙烯烷基醚硫酸盐和聚氧乙烯烷基苯基醚硫酸盐组成的组中的1种以上。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的蚀刻方法，所述(A)选自由硫酸、甲磺酸和它们的盐组成的组中的1种以上的浓度为2～15质量％。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的蚀刻方法，所述(A)选自由硫酸、甲磺酸和它们的盐组成的组中的1种以上为硫酸。

8.根据权利要求2或3所述的蚀刻方法，在所述蚀刻液中，所述(B)羧酸的浓度以基于羧酸基的浓度计为1～12质量％，所述(B)羧酸不包括草酸。

9.根据权利要求4所述的蚀刻方法，在所述蚀刻液中，所述(C)聚磺酸化合物的浓度为0.001～5质量％。

10.一种显示设备，其是通过权利要求1～9中任一项所述的蚀刻方法而制造的。