[发明专利]可变照明傅立叶重叠关联成像设备、系统以及方法

权利要求书

1.一种傅立叶重叠关联成像系统，包括：

可变照明器，其被配置成在不同的时间以多个入射角照亮样本；

光学系统，其包括具有NA的透镜，所述透镜被配置成过滤从所述样本发出的光，其中，所述多个入射角和所述NA对应于傅立叶域中的多个重叠区域，所述多个重叠区域覆盖大于1.0的扩大的NA；

辐射检测器，其被配置成获取多个强度图像，每个强度图像对应于所述多个入射角中的不同的入射角；以及

处理器，其被配置成重建具有比所述强度图像的分辨率更高的分辨率的图像，其中重建所述更高的分辨率的图像包括使用强度图像测量结果来迭代地更新所述傅立叶域中的重叠区域，其中重建所述更高的分辨率的图像还包括从所述多个强度图像恢复相位信息。

2.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述透镜被配置成通过传递在其接受角内所接收的光来过滤来自所述样本的光。

3.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述透镜的NA在0.50至0.75的范围内。

4.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述透镜的NA在0.40至0.50的范围内。

5.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述可变照明器包括光元件的一个或多个圆形的环。

6.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述可变照明器包括等距光元件的多个同心环。

7.根据权利要求6所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，每个外环具有比相邻的更小直径的环数量更大的光元件。

8.根据权利要求6所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，每个同心环具有至少6个光元件。

9.根据权利要求6所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，每个同心环的光元件分开至少30度。

10.根据权利要求6所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，每个同心环具有大于20mm的直径。

11.根据权利要求6所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，每个同心环具有大于40mm的直径。

12.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，

其中，所述光学系统包括被配置成接收从所述样本反射的光的集光光学元件，以及

其中，在落射照明模式中，所述可变照明器和所述集光光学元件位于所述样本的同一侧。

13.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，

其中，所述透镜被配置成接收从所述样本反射的光，以及

其中，在落射照明模式中，所述可变照明器和所述透镜位于所述样本的同一侧。

14.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述多个重叠区域中的相邻的重叠区域具有所述相邻的重叠区域中的一个的面积的20％至90％的重叠区。

15.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述多个重叠区域中的相邻的重叠区域具有所述相邻的重叠区域中的一个的面积的至少70％的重叠区。

16.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述多个重叠区域中的相邻的重叠区域具有所述相邻的重叠区域中的一个的面积的至少75％的重叠区。

17.根据权利要求1所述的傅立叶重叠关联成像系统，其中，所述多个重叠区域中的相邻的重叠区域具有所述相邻的重叠区域中的一个的面积的2％至99.5％的重叠区。