[发明专利]压电振动元件及其制造方法和应用

权利要求书

1.一种压电振动元件，形成有用于驱动压电振动板的激励电极，该压电振动元件的特征在于，

所述激励电极由三元系合金构成，该三元系合金以银为主成分，并且作为添加剂含有第一添加剂和第二添加剂，第一添加剂是溅射率比银低且相对于蚀刻液难以腐蚀的金属元素，第二添加剂是与银形成固溶体的元素，

所述激励电极的外周部成为，与该激励电极的外周部的更靠内侧的区域相比，激励电极的外周部一侧的每单位体积的第一添加剂的浓度更高的状态。

2.根据权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

所述合金分别含有钯作为所述第一添加剂和铜作为所述第二添加剂。

3.一种压电设备，其特征在于，

通过将根据权利要求1或权利要求2所述的压电振动元件容纳在容器内，并在该容器上接合盖来气密地密封所述压电振动元件。

4.一种压电振动元件的制造方法，是形成有用于驱动压电振动板的激励电极的压电振动元件的制造方法，其特征在于，具有：

金属膜形成工序，在压电振动板的正反面上形成由三元系合金构成的金属膜的，该三元系合金以银为主成分，并且作为添加剂含有第一添加剂和第二添加剂，第一添加剂是溅射率比银低且相对于蚀刻液难以腐蚀的金属元素，第二添加剂是与银形成固溶体的元素；

和金属蚀刻工序，通过在所述金属膜的上表面形成抗蚀剂后，使用对银具有腐蚀性的蚀刻液来进行蚀刻，使激励电极的外周部成为，与该激励电极的外周部的更靠内侧的区域相比，激励电极的外周部一侧的每单位体积的第一添加剂的浓度更高的状态。

5.根据权利要求4所述的压电振动元件的制造方法，其特征在于，

所述合金中含有的所述第一添加剂为钯，所述第二添加剂为铜。

6.一种压电设备的制造方法，其特征在于，具有：

接合工序，将通过根据权利要求4或权利要求5所述的制造方法得到的压电振动元件接合在容器的内部；

微调整工序，通过对压电振动元件的所述激励电极照射离子束，减少所述激励电极的质量来进行压电振动元件的频率的微调整；

和密封工序，通过在所述容器上接合盖来气密地密封压电振动元件。