[发明专利]压电元件、喷墨头、喷墨打印机以及压电元件的制造方法

权利要求书

1.一种压电元件，是将包含钛的密接层、包含铂的下部电极、压电薄膜以及上部电极按照这个顺序形成在基板上而成的压电元件，其特征在于，

通过所述下部电极的铂的触媒作用而所述密接层的钛被氧化，从而在所述下部电极上析出有构成所述密接层的钛，

在所述下部电极的内部，具有未露出到所述下部电极的表面的钛的粒子，

构成所述下部电极的铂的晶体粒径是75nm以上且150nm以下。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述压电薄膜包含锆钛酸铅。

3.根据权利要求1或者2所述的压电元件，其特征在于，

在所述下部电极与所述压电薄膜之间形成有用于控制所述压电薄膜的取向的取向控制层。

4.根据权利要求3所述的压电元件，其特征在于，

所述取向控制层包含镧钛酸铅。

5.根据权利要求1或者2所述的压电元件，其特征在于，

在将所述密接层的膜厚设为t1nm、将所述下部电极的膜厚设为t2nm时，膜厚比t1/t2是1/17以上且1/8以下。

6.根据权利要求1或者2所述的压电元件，其特征在于，

所述下部电极在内部也具有钛。

7.一种喷墨头，其特征在于，具备：

权利要求1至6中的任意一项所述的压电元件；以及

喷嘴基板，具有用于将在所述压电元件的所述基板形成的开口部中收容的墨向外部吐出的喷嘴孔。

8.一种喷墨打印机，其特征在于，具备权利要求7所述的喷墨头，从所述喷墨头朝向记录介质吐出墨。