[发明专利]光检测装置有效
申请号: | 201480058681.5 | 申请日: | 2014-10-31 |
公开(公告)号: | CN105683725B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;笠原隆;广瀬真树;川合敏光 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
分光传感器(1A)具备:法布里‑珀罗干涉滤波器(10),设置有使对应于第1镜(31)与第2镜(41)之间的距离而透过的光沿着相对方向(D)通过的开口(50a);光检测器(3),具有对通过了开口(50a)的光进行受光的受光部(3a);配线基板(2),安装有光检测器(3);多个隔离物(4),以与开口(50a)内的第1空间(S1)相连续并且在从相对方向(D)看的情况下包含第1空间(S1)的第2空间(S2)被形成于滤波器(10)与配线基板(2)之间的方式在配线基板(2)上支撑滤波器(10)。光检测器(3)被配置于第2空间(S2)内。受光部(3a)在从相对方向(D)看的情况下配置于第2空间(S2)中对应于第1空间(S1)的区域内。
技术领域
本发明涉及具备法布里-珀罗干涉滤波器的光检测装置。
背景技术
已知有具备具有距离可变的第1镜以及第2镜的法布里-珀罗干涉滤波器、检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光的光检测器的光检测装置(例如,参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利申请公开2005-106753号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
对于如以上所述那样的光检测装置来说,关于在法布里-珀罗干涉滤波器上的光的透过以及在光检测器上的光的检测,寻求波长分辨率的提高、波长飘移(shift)的抑制、分光特性的提高等。
因此,本发明的目的在于,提供一种能够谋求波长分辨率的提高、波长飘移的抑制以及分光特性的提高的光检测装置。
解决问题的技术手段
本发明的一个方式所涉及的光检测装置,其特征在于,具备:法布里-珀罗干涉滤波器,具有距离可变的第1镜以及第2镜并且设置有沿着规定的方向使对应于第1镜与第2镜之间的距离而透过的光通过的开口;光检测器,具有对通过了开口的光进行受光的受光部;配线基板,安装有光检测器;支撑构件,以与开口内的第1空间相连续并且在从规定的方向看的情况下包含第1空间的第2空间被形成于法布里-珀罗干涉滤波器与配线基板之间的方式在配线基板上支撑法布里-珀罗干涉滤波器;光检测器被配置于第2空间内,受光部在从规定的方向看的情况下配置于第2空间中对应于第1空间的区域内。
在该光检测装置中,在被形成于法布里-珀罗干涉滤波器与配线基板之间的第2空间中光检测器的受光部被配置于在法布里-珀罗干涉滤波器上进行设置的开口内的对应于第1空间的区域内。因此,在第1镜以及第2镜上透过取得平行化的区域的光容易到达光检测器的受光部。由此,能够取得波长分辨率的提高。另外,在与第1空间相连续的第2空间内配置光检测器的受光部。因此,从第1镜以及第2镜到光检测器的受光部的距离变长并且以小的入射角入射到法布里-珀罗干涉滤波器的光容易到达光检测器的受光部。由此,能够取得波长分辨率的提高以及波长漂移的抑制。再有,在被形成于法布里-珀罗干涉滤波器与配线基板之间的第2空间内配置光检测器。因此,除了透过第1镜以及第2镜并通过开口的光之外的杂散光难以到达光检测器的受光部。由此,通过减少杂散光从而能够取得分光特性的提高。
在本发明的一个方式所涉及的光检测装置中,光检测器也可以在从规定的方向看的情况下被配置于第2空间中对应于第1空间的区域内。由此,能够取得由光检测器的小型化带来的光检测装置的低成本化。另外,在被形成于法布里-珀罗干涉滤波器与配线基板之间的第2空间内能够配置热敏电阻等温度补偿用部件。即使是在附加了温度补偿用部件等安装部件的情况下也能够取得光检测装置的小型化。
本发明的一个方式所涉及的光检测装置也可以进一步具备在第2空间内被安装于配线基板的安装部件,安装部件在从规定的方向看的情况下被配置于第2空间中对应于第1空间的区域外。由此,能够抑制在安装部件上的光的反射等,并且通过减少杂散光从而能够取得分光特性的进一步提高。
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