[发明专利]显微镜以及用于显微镜的声光合束器

权利要求书

1.一种用于显微镜的声光合束器，其接收至少第一照明光束和第二照明光束并且将它们组合成共线的输出光束，所述第一照明光束和所述第二照明光束具有相同的照明光波长，但具有不同的偏振，

其中，所述声光合束器被构建和操作以使得通过与至少一个机械波的相互作用，所述第一照明光束和所述第二照明光束被衍射并因此被引导到共同的光轴上，以及

其中，所述声光合束器包括第一晶体和第二晶体，第一机械波通过所述第一晶体传播，第二机械波通过所述第二晶体传播，其中所述第一照明光束通过与所述第一机械波的相互作用被衍射并且被引导到共同的光轴，所述第二照明光束通过与所述第二机械波的相互作用被衍射并且被引导到共同的光轴，被衍射的第二照明光束未被所述第一机械波衍射地通过所述第一晶体。

2.根据权利要求1所述的声光合束器，其中，至少一个另外的照明光束通过所述第一晶体行进并且与所述第一和第二照明光束一起抵达共同的光轴，所述另外的照明光束不具有所述第一和第二照明光束的波长并且不在所述机械波处被衍射。

3.根据权利要求2所述的声光合束器，其中，所述另外的照明光束从第二晶体中发出，所述第二机械波在所述第二晶体中传播，所述第二机械波具有与所述另外的照明光束的波长相关联的声频，

a.所述另外的照明光束包含第三照明光束，其具有另外的照明光波长并且被所述第二机械波衍射；或者

b.所述另外的照明光束包含第三和第四照明光束，其具有另外的照明光波长，但具有不同的偏振，这些照明光束被所述第二机械波衍射。

4.根据权利要求1所述的声光合束器，其中，所述显微镜是扫描显微镜。

5.一种用于显微镜的光源，其具有多个主光源和根据权利要求1至4中任一项所述的声光合束器，该声光合束器将所述多个主光源的照明光束组合起来。

6.根据权利要求5所述的光源，其中，所述显微镜是扫描显微镜。

7.根据权利要求6所述的光源，其中，所述显微镜是共焦扫描显微镜。

8.一种具有根据权利要求1至4中任一项所述的声光合束器的显微镜。

9.根据权利要求8所述的显微镜，其中，所述声光合束器用作主分束器，其将照明光引导到照明光束路径以照射样品，并且将来自样品的探测光引导到具有探测器的探测光束路径。

10.根据权利要求8所述的显微镜，其中，所述显微镜是扫描显微镜。

11.根据权利要求10所述的显微镜，其中，所述显微镜是共焦扫描显微镜。

12.一种具有根据权利要求3所述的声光合束器的显微镜。

13.根据权利要求12所述的显微镜，其中，所述声光合束器接收来自样品的探测光，并且从所述探测光中移除具有所述第一照明光束和所述第二照明光束的照明光波长或所述另外的照明光波长的部分。