[发明专利]基板运输装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其包括：

运输臂，所述运输臂具有串联连接的臂链路，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；

至少第一滑轮和第二滑轮，其中，所述第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及

具有多于一个的独立单向扭矩传递带的多带扭矩传递，所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个在所述第一滑轮和所述第二滑轮之间连续纵向地延伸并且被独立地联接至所述第一滑轮和所述第二滑轮中的每一个，使得通过所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个在所述第一滑轮和所述第二滑轮之间的每个扭矩负载传递在扭矩负载下连续遍及所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的相应一个从所述第一滑轮延伸到所述第二滑轮的整个跨度长度遍及所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的所述相应一个赋予恒定的单向且单轴张力负载，所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个具有针对所述预定臂链路高度的对应带高度以及可变横向厚度，使得所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个包含针对所述对应带高度的具有横向增大的横截面的区段。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其进一步包括：驱动地连接至所述第一滑轮的驱动部分，以实现所述串联连接的臂链路的延伸和缩回。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述第一滑轮是驱动滑轮并且所述第二滑轮是从动滑轮。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述具有横向增大的横截面的区段是非可挠性的带区段。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述运输臂包含：

第一臂链路，所述第一臂链路具有联接至驱动部分的近端；

第二臂链路，所述第二臂链路在所述第二臂链路的近端处被可旋转地联接至所述第一臂链路的远端；以及

基板支撑件，所述基板支撑件被连接至所述第二臂链路的远端。

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述运输臂包括SCARA臂。

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个均包含：第一和第二滑轮接口部分，所述第一和第二滑轮接口部分具有不同于所述横向增大的横截面的第一横向截面，并且所述具有横向增大的横截面的区段将所述第一滑轮接口部分连接至所述第二滑轮接口部分。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个均包含第一和第二滑轮接口部分，并且所述具有横向增大的横截面的区段被设置在所述第一滑轮接口部分和所述第二滑轮接口部分之间的所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的相应一个上。

9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述具有横向增大的横截面的区段被粘附至所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的相应一个。

10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述具有横向增大的横截面的区段具有与所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的相应一个一起的整块单件式结构。

11.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述具有横向增大的横截面的区段包括从所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的相应一个的一个或多个横向侧面横向地延伸的一个或多个凸缘。