[发明专利]光检测装置有效
申请号: | 201480059055.8 | 申请日: | 2014-10-31 |
公开(公告)号: | CN105705920B | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;笠原隆;广瀬真树;川合敏光 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
本发明所涉及的光谱传感器(1)的特征在于:具备:配线基板(2),具有主面;光检测器(3),被配置于配线基板(2)的主面(2A)上并且与配线基板(2)相电连接;垫片(4),在配线基板的主面(2A)上被配置于光检测器(3)的周围;法布里‑珀罗干涉滤光片(10),具有光透过区域(11)并且通过垫片(4)被配置于配线基板(2)的主面(2A)上;垫片(4)在光透过区域(11)的周围区域(R1)支撑法布里‑珀罗干涉滤光片(10),垫片(4)在从光透过区域(11)中的光的透过方向看的情况下具有连通周围区域(R1)的内侧和周围区域(R1)的外侧的开口部(A1)。
技术领域
本发明涉及具备法布里-珀罗干涉滤光片的光检测装置。
背景技术
例如在专利文献1中记载有现有的光检测装置。在该光检测装置中,受光元件被配置于支撑基板上。另外,在该光检测装置中,法布里-珀罗干涉滤光片通过粘结层被粘结于受光元件之上。在像这样的光检测元件中,为了电连接受光元件的键合焊垫(bonding pad)被配置于受光元件的上表面。法布里-珀罗干涉滤光片从法布里-珀罗干涉滤光片中的光的透过方向来看在受光元件的上面是从以上所述的键合焊垫分开来被配置的。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利申请公开2012-173347号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而,在以上所述那样的光检测元件中,从法布里-珀罗干涉滤光片中的光的透过方向看有必要将键合焊垫配置于法布里-珀罗干涉滤光片的外侧。因此,恐怕会妨碍光检测装置的小型化。
因此,本发明的目的在于提供一种能够小型化的光检测装置。
解决技术问题的手段
本发明的一个方式所涉及的光检测装置的特征在于:具备:配线基板,具有主面;光检测器,被配置于配线基板的主面上并且与配线基板相电连接;支撑构件,在配线基板的主面上被配置于光检测器的周围;法布里-珀罗干涉滤光片,具有光透过区域并且经由支撑构件被配置于配线基板的主面上;支撑构件在光透过区域的周围区域支撑法布里-珀罗干涉滤光片,支撑构件在从光透过区域中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的开口部。
在该光检测装置中,开口部被设置于支撑构件。为此,即使是将被电连接于光检测器的键合焊垫配置于光透过区域的周围区域的情况,能够以经由支撑构件的开口部的形式设置用于电连接该键合焊垫和其他元件的配线。由此,就能够确保对于光检测器的电连接。因此,在从法布里-珀罗干涉滤光片中的光的透过方向看的情况下,没有必要将键合焊垫配置于法布里-珀罗干涉滤光片的外侧。因此,就能够将光检测装置的大小做到与法布里-珀罗干涉滤光片的大小基本相同等。因此,就能够对光检测装置实行小型化。
在此,本发明的一个方式所涉及的光检测装置进一步具备连接相对于光检测器或者法布里-珀罗干涉滤光片被电连接的引线(wire)的一端并且相对于光检测器或者法布里-珀罗干涉滤光片输入或者输出电信号的引线连接部,引线连接部的上表面也可以被配置于低于法布里-珀罗干涉滤光片的上表面的位置。根据该结构,会变得容易进行从法布里-珀罗干涉滤光片或者光检测器到引线销针的引线连接。
另外,引线连接部的上表面也可以被配置于低于支撑构件的上表面的位置。根据该结构,则会变得容易实行从法布里-珀罗干涉滤光片或者光检测器到引线销针的引线连接。
另外,也可以是,引线连接部包含被电连接于光检测器的第1引线连接部、被电连接于法布里-珀罗干涉滤光片的第2引线连接部,第1引线连接部与法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最短的第1方向,相对于第2引线连接部与法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最短的第2方向进行交叉。根据该结构,则能够防止引线的配置发生复杂化,并且能够提高引线键合的操作性。
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