[发明专利]扫描显微镜以及用于扫描显微镜的声光主分束器

权利要求书

1.一种用于扫描显微镜的声光主分束器，所述声光主分束器被实现和设定为将具有预选的照明光波长的照明光引导到照明光束路径以用于照射样品，并且将来自样品的探测光引导到探测光束路径上，

其中，具有与所述照明光波长相关联的相同声频的多个机械波在所述声光主分束器中传播，

a.来自样品的探测光束通过与多个机械波的相互作用，既使所述探测光束的具有所述照明光波长和第一线偏振方向的部分偏转，也使所述探测光的具有所述照明光波长和垂直于所述第一线偏振方向的第二线偏振方向的部分偏转，并因此从所述探测光束中移除；或

b.所述声光主分束器被实现为通过与多个机械波的相互作用，将照明光的具有预选的照明光波长和所述第一线偏振方向的部分，以及照明光的具有预选的照明光波长和垂直于所述第一线偏振方向的第二线偏振方向的部分引导到照明光束路径以用于照射样品；

其中，所述声光主分束器包括第一晶体和第二晶体，它们被配置为相继地被所述探测光束穿过，通过与存在于所述第一晶体中的、具有所述声频的第一机械波的相互作用，具有所述照明光波长和所述第一线偏振方向的部分被偏转并因此从所述探测光束中移除；并且通过与存在于所述第二晶体中的、同样具有所述声频的第二机械波的相互作用，具有所述照明光波长和所述第二线偏振方向的部分被偏转并因此从所述探测光束中移除。

2.根据权利要求1所述的声光主分束器，其中，

a.所述第一晶体在形状和尺寸和晶体截面中至少之一方面与所述第二晶体不同；或

b.所述探测光束的传播方向相对于所述第一晶体的晶格结构的定向与所述探测光束的传播方向相对于所述第二晶体的晶格结构的定向是不同的；或

c.所述第一机械波的传播方向相对于所述第一晶体的晶格结构的定向与所述第二机械波的传播方向相对于所述第二晶体的晶格结构的定向是不同的。

3.根据权利要求1所述的声光主分束器，其中，

a.所述探测光束首先穿过所述第一晶体，随后穿过所述第二晶体；并且通过与所述第一晶体的机械波的相互作用，具有所述照明光波长的照明光被引导到照明光束路径；或

b.所述探测光束首先穿过所述第一晶体，随后穿过所述第二晶体；并且通过与所述第二晶体的机械波的相互作用，具有所述照明光波长的照明光被引导到照明光束路径。

4.根据权利要求1所述的声光主分束器，其中，

a.所述第一线偏振方向就晶体的双折射特性而言是寻常光的线偏振方向；或

b.所述第二线偏振方向就晶体的双折射特性而言是非寻常光的线偏振方向；或

c.所述第一线偏振方向或第二线偏振方向被配置在由所述机械波的传播方向和所述探测光束的传播方向跨越的平面中。

5.根据权利要求1所述的声光主分束器，其中，所述声光主分束器的光束引导组件被配置和实现，以使得所述探测光束的剩余部分共线地离开所述声光主分束器；或具有期望波长的照明光束与其偏振方向无关地在其被引导至的照明光束路径上共线地组合。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的声光主分束器，其中，通过与存在于所述第一晶体中的、具有所述声频的第一机械波的相互作用，将具有所述照明光波长和所述第一线偏振方向的照明光偏转至照明光束路径以用于照射样品；通过与存在于所述第二晶体中的、具有所述声频的第二机械波的相互作用，将具有所述照明光波长和第二线偏振方向的照明光偏转至照明光束路径以用于照射样品。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的声光主分束器，其中，所述声光主分束器借助声频不同的多个机械波从所述探测光束中移除在样品处被散射和反射中至少之一的、具有与所述声频相关联的多个照明光波长的照明光的部分。