[发明专利]用于光刻设备的支撑台、光刻设备以及器件制造方法

权利要求书

1.一种用于光刻设备的支撑台，所述支撑台被配置为支撑衬底的下表面，其中所述支撑台包括：

基部表面，所述基部表面被配置为与支撑在支撑台上的衬底的下表面基本上平行，

多个凸起，所述多个凸起突出于基部表面之上，所述多个凸起中的每一个凸起具有各自的末端和高于基部表面的第一高度，所述多个凸起被布置为使得当衬底被支撑台支撑时，衬底被多个凸起中的每一个凸起的各自的末端支撑，以及

被间隙分开的多个细长凸起的突出部，所述多个细长凸起的突出部中的每一个具有高于基部表面的第二高度，其中所述多个细长凸起的突出部在凸起之间突出于基部表面之上，并且第二高度小于第一高度；

其中所述突出部被布置为使得多个间隙被对准以形成从基部表面的中心朝向基部表面的边缘的直线气流路径。

2.根据权利要求1所述的支撑台，还包括多个另外的凸起，所述多个另外的凸起从直线气流路径的底部突出。

3.根据权利要求2所述的支撑台，其中所述另外的凸起中的每一个的横截面在垂直于基部表面的平面内具有台阶状轮廓，其中台阶状轮廓具有第一部分和第二部分，所述第一部分具有第三高度和各自的末端，以便支撑衬底的下表面，所述第二部分包围第一部分并且从所述底部突出，并且第二部分具有高于基部表面之上且小于第三高度的第四高度。

4.根据权利要求2所述的支撑台，其中所述底部低于基部表面使得直线气流路径在基部表面中形成槽。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑台，其中所述直线气流路径相对于基部表面的所述中心基本上是径向的。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑台，其中所述支撑台包括形成在其中的孔，其中直线气流路径在孔的径向外侧的区域内。

7.根据权利要求6所述的支撑台，其中孔位于直线气流路径内。

8.根据权利要求2-4中任一项所述的支撑台，其中所述底部至少与凸起突出于基部表面之上一样程度地低于基部表面，使得直线气流路径在基部表面中形成槽。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑台，其中所述细长凸起的突出部被布置为形成大致同心的形状，其中每一个形状由被间隙分开的多个细长凸起的突出部形成。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑台，其中所述细长凸起的突出部被布置为形成环形，其中每一个环形由被间隙分开的多个细长凸起的突出部形成。

11.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑台，还包括环形密封件，所述环形密封件包围所述凸起从基部表面上突出。

12.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑台，还包括调节系统，所述调节系统被配置为给支撑台供给热能和/或从支撑台移除热能。

13.一种光刻设备，包括根据权利要求1-12中任一项所述的支撑台。

14.一种器件制造方法，包括使用光刻设备以将图案从图案形成装置转移到衬底上，其中所述光刻设备包括支撑台，所述支撑台被配置为支撑衬底的下表面，其中所述支撑台包括：

基部表面，所述基部表面被配置为与支撑在支撑台上的衬底的下表面基本上平行，

多个凸起，所述多个凸起突出于基部表面之上，所述多个凸起中的每一个凸起具有各自的末端和高于基部表面的第一高度，所述多个凸起被布置为使得当衬底被支撑台支撑时，所述衬底被多个凸起中的每一个凸起的各自的末端支撑，以及

被间隙分开的多个细长凸起的突出部，所述多个细长凸起的突出部中的每一个具有高于基部表面的第二高度，其中所述多个细长凸起的突出部在凸起之间突出于基部表面之上，并且第二高度小于第一高度；

其中所述突出部被布置为使得多个间隙被对准以形成从基部表面的中心朝向基部表面的边缘的直线气流路径。