[发明专利]立体结构物的制造方法、闪烁体面板的制造方法、立体结构物和闪烁体面板

说明书

本发明的目的在于，提供可任意选择闪烁体面板的基板的种类和/或厚度的立体结构物的制造方法、闪烁体面板的制造方法、立体结构物和闪烁体面板。本发明提供立体结构物的制造方法，其中，在基材上形成玻璃图案后，将上述玻璃图案从上述基材上剥离，从而得到立体结构物。

技术领域

本发明涉及立体结构物的制造方法、闪烁体面板的制造方法、立体结构物和闪烁体面板。

背景技术

一直以来，在医疗现场广泛使用了利用膜的X射线图像。但是，由于利用了膜的X射线图像是模拟图像信息，因此，近年来开发了计算机照射术（computed radiography：CR）、平板X射线检测装置（flat panel detector：FPD）等数字方式的放射线检测装置。

FPD中，为了将放射线转换成可见光而使用了闪烁体面板。闪烁体面板包含碘化铯（CsI）等X射线荧光体，根据所照射的X射线，该X射线荧光体发出可见光，该光线通过TFT（薄膜晶体管，thin film transistor）、CCD（电荷耦合器件，charge-coupled device）而转换成电信号，由此将X射线的信息转换成数字图像信息。然而，FPD存在S/N比较低的问题。这是因为：X射线荧光体发光时，可见光因荧光体自身而散射等。为了减小该光散射的影响，提出了在由分隔壁划分而成的单元内填充荧光体的方法（专利文献1~4）。

然而，作为用于形成这种分隔壁的现有方法，已知有对硅晶片进行蚀刻加工的方法，但该方法中，能够形成的闪烁体面板的尺寸因硅晶片的尺寸而受限，无法获得500mm见方这样的大尺寸的闪烁体面板。另一方面，还已知如下技术：使用含玻璃粉末的糊剂，大面积且高精度地对分隔壁进行加工，从而制造闪烁体面板，所述分隔壁含有2~20质量%的碱金属氧化物的低软化点玻璃作为主要成分（专利文献4）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-60871号公报

专利文献2：日本特开平5-188148号公报

专利文献3：日本特开2011-7552号公报

专利文献4：国际公开第2012/161304号。

发明内容

发明要解决的问题

然而，以往的使用含玻璃粉末的糊剂来制造闪烁体面板的方法中，在基板上形成由含玻璃粉末的糊剂构成的图案后，通过烧成而使玻璃粉末烧结来制成分隔壁，因此，作为基板，需要选择在烧成工序中不会发生焚毁、明显变形的高耐热性基板。进而，为了抑制基板在烧成中发生翘曲，需要确保基板的强度，为了制成高强度而需要使用较厚的基板。作为高耐热性且高强度的基板，可列举出主要由无机材料形成的基板、例如玻璃基板或陶瓷基板等，但这些由无机材料形成的基板容易吸收X射线，因此存在X射线在到达荧光体之前被基板吸收、发光亮度降低的课题。另外，这些基板的反射率也低，因此，存在由闪烁带来的发光露出至基板侧、亮度降低的课题。

因而，本发明的目的在于，提供立体结构物的制造方法和立体结构物、以及使用该立体结构物且能够任意选择闪烁体面板的基板的种类和/或厚度的闪烁体面板的制造方法和闪烁体面板。

用于解决问题的方案

该课题是通过如下的任意技术手段而实现的。

（1）立体结构物的制造方法，其中，在基材上形成玻璃图案后，将上述玻璃图案从上述基材上剥离。

（2）立体结构物的制造方法，其具备如下工序：

在基材的表面涂布含玻璃粉末的糊剂A，从而得到涂布膜A的涂布工序；