[发明专利]用于静电卡盘表面的垫设计

权利要求书

1.一种用于对静电卡盘进行涂布的掩模，所述掩模包括：

平坦构件，所述平坦构件包含选自由以下项组成的组中的材料：氮化硅、氮化铝、碳化硅和氧化锆，其中所述掩模具有位于所述掩模的中心区域的蛇形开口，并且所述蛇形开口具有中心笔直部分以及两个外部弯曲部分。

2.根据权利要求1所述的掩模，进一步包括：第一孔组，所述第一孔组具有三个子组，所述三个子组围绕所述掩模的周边以相等角距间隔开来；以及第二孔组，所述第二孔组具有三个子组，所述第二孔组中的每个子组被设置在所述第一孔组中的两个子组之间。

3.根据权利要求2所述的掩模，进一步包括多个细长孔，所述多个细长孔被布置为同心环。

4.根据权利要求1所述的掩模，其中所述弯曲部分在相同方向上弯曲。

5.根据权利要求4所述的掩模，进一步包括一组圆孔，所述一组圆孔包括两个孔子组，所述蛇形开口的所述中心笔直部分的每侧上各有一个孔子组。

6.根据权利要求2所述的掩模，其中所述蛇形开口以及所述第一孔组和第二孔组的所述孔中的每个孔具有扩口部分和笔直部分。

7.一种静电卡盘，所述静电卡盘包括：

卡盘表面；以及

位于所述卡盘表面上的凸起图案，所述图案包括：

位于所述卡盘表面的中心区域处的蛇形凸起；以及

第一组凸起，所述第一组凸起具有三个子组，所述三个子组围绕所述卡盘的周边以相等角距间隔开来，其中所述蛇形凸起具有中心笔直部分以及两个外部弯曲部分。

8.根据权利要求7所述的静电卡盘，其中所述凸起图案进一步包括第二组凸起，所述第二组凸起具有三个子组，所述第二组凸起中的每个子组设置在所述第一组凸起中的两个子组之间。

9.根据权利要求8所述的静电卡盘，其中所述凸起图案进一步包括分两个子组的一组圆形凸起，所述蛇形凸起的所述中心笔直部分的每侧上各有一个子组。

10.根据权利要求9所述的静电卡盘，其中在所述第二组凸起与所述蛇形凸起之间的所述多个凸起中的所述凸起弯曲、径向对准，并且被布置在同心环中。

11.根据权利要求9所述的静电卡盘，其中在所述第二组凸起与所述蛇形凸起之间的所述多个凸起具有介于所述静电卡盘的半径的约22％与约70％之间的径向延度。

12.根据权利要求9所述的静电卡盘，其中所述圆形凸起在所述蛇形凸起的所述中心笔直部分与所述蛇形凸起的所述外部弯曲部分之间。

13.一种用于静电卡盘组件的表面的材料组合物，所述材料组合物包括：

溅射靶材的第一层；

第二层，所述第二层位于所述第一层上方，所述第二层包含：

第一浓度的碳原子，以及

第一浓度的硅原子；以及

第三层，所述第三层位于所述第二层上方，所述第三层包括：

增大浓度的碳原子，以及

减小浓度的硅原子。

14.根据权利要求13所述的材料组合物，其中所述第二层中的所述第一浓度的硅原子在约15％与约30％之间。