[发明专利]光传感器装置和光谱仪在审
申请号: | 201480061363.4 | 申请日: | 2014-10-16 |
公开(公告)号: | CN105723193A | 公开(公告)日: | 2016-06-29 |
发明(设计)人: | 马里奥·曼宁格;彼得·特拉特勒 | 申请(专利权)人: | ams有限公司 |
主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04;G01J1/02;G01J1/42;G01J1/06;G01J3/51;G01J3/02;G01J3/26;G01J3/36;G02B5/20;G02B27/46 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 唐京桥;李春晖 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 装置 光谱仪 | ||
1.一种光传感器装置,包括具有光传感器(1)、光学滤波器(3)以及位于所述光传感器(1)与所述光学滤波器(3)之间的掩模(2)的堆叠,其中,
所述光传感器(1)包括光敏表面(11),并且
所述掩模(2)包括上部不透明基片(M3),所述上部不透明基片(M3)背离所述光敏表面(11)并且具有第一孔(AM3),并且所述掩模(2)进一步包括下部不透明基片(M1),所述下部不透明基片(M1)面向所述光敏表面(11)并且具有第二孔(AM1),其中,所述第一孔(AM3)和所述第二孔(AM1)中的每个孔分别限定所述掩模(2)中的光路,
所述上部基片(M3)和所述下部基片(M1)由金属制成,并且
所述光路被设计成用于允许入射光在具有来自角度的容许区间(INT)的入射角时到达所述光敏表面(11),所述角度的容许区间(INT)分别由所述第一孔(AM3)的大小和所述第二孔(AM1)的大小确定并且相对于所述光路的光轴(OA)而被限定。
2.根据权利要求1所述的光传感器装置,其中,所述光学滤波器(3)包括方向光学滤波器,特别是干涉滤波器或等离子激元滤波器,所述方向光学滤波器具有方向相关的透射特性。
3.根据权利要求1或2所述的光传感器装置,其中,
所述掩模(2)包括至少一个中部不透明基片(M2M3),所述至少一个中部不透明基片(M2M3)在所述上部基片(M3)与所述下部基片(M1)之间并且具有第三孔(AM2),并且
所述第三孔(AM2)分别布置成限定所述掩模(2)中的光路,以使得所述角度的容许区间(INT)由所述第一孔(AM3)的大小、所述第二孔(AM1)的大小和所述第三孔(AM2)的大小来确定。
4.根据权利要求3所述的光传感器装置,其中,所述下部基片(M1)、所述至少一个中部基片(M2)和所述上部基片(M3)借助于通孔(V)相互堆叠或者直接相互堆叠。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光传感器装置,其中,所述光路的每个光轴(OA)均与所述第一孔(AM3)对准,特别地,所述光路的每个光轴(OA)均与所述第一孔(M3)的几何中心对准。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光传感器装置,其中,所述光轴(OA)相对于所述光敏表面(11)的表面法线对准,特别地,所述光轴(OA)与所述光敏表面(11)的表面法线平行地对准。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的光传感器装置,其中,所述第一孔(AM3)以规则图案布置在所述上部基片(M3)上,特别地,所述第一孔(AM3)以矩阵图案布置在所述上部基片(M3)上。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的光传感器装置,其中,所述第一孔(AM3)具有多角形形状。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的光传感器装置,其中,所述第一孔(AM3)具有矩形形状。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的光传感器装置,其中,所述第一孔(AM3)具有蜂巢形状。
11.根据权利要求3至10中任一项所述的光传感器装置,其中,所述第一孔(AM3)和其它孔(AM1,AM2)具有相同的形状和大小。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的光传感器装置,其中,所述光传感器(1)包括光电二极管,特别是红外光电二极管。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的光传感器装置,其中,所述光传感器(1)的光敏表面(11)是连续的,特别地是非像素化的。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的光传感器装置,进一步包括:扩散器(4),所述扩散器(4)连接至具有所述光传感器(1)、所述光学滤波器(3)和所述掩模(2)的所述堆叠的顶面并且背离所述光敏表面(11)。
15.一种光谱仪,所述光谱仪至少包括根据权利要求1至14中任一项所述的第一光传感器装置和第二光传感器装置,其中,所述第一光传感器装置的光学滤波器(3)具有第一光学带通,并且所述第二光传感器装置的光学滤波器(3)具有第二光学带通。
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