[发明专利]由具有高硅酸含量的钛和氟掺杂玻璃制造坯料的方法

权利要求书

1.由具有高硅酸含量及预定氟含量的钛掺杂玻璃制造用于EUV光刻法的坯料的方法，其包括制造卤素掺杂TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1')并通过固结和玻璃化进一步加工成坯料的合成过程，其特征在于所述合成过程包括借助含硅和钛的起始物质的火焰水解形成TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1)的方法步骤和使所述TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1)在移动粉末床(10)中暴露在含氟试剂中并转化成氟掺杂TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1')的后续方法步骤。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于使用八甲基环四硅氧烷（OMCTS）作为含硅起始物质并使用异丙醇钛[Ti(OPrⁱ)₄]作为含钛起始物质。

3.根据权利要求1或2的方法，其特征在于TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1)具有20纳米至500纳米的平均粒度和50平方米/克至300平方米/克的BET比表面积。

4.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于将氟掺杂TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1')的TiO₂含量设定为6重量%至12重量%。

5.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于将氟掺杂TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1')的氟含量设定为1000重量ppm至10000重量ppm。

6.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于使用SiF₄、CHF₃、CF₄、C₂F₆、C₃F₈、F₂或SF₆作为含氟试剂。

7.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于将移动粉末床(10)以TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1)的松散装料的形式形成，含氟试剂流经所述松散装料并由此使其移动。

8.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于所述含氟试剂对TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1)作用至少5分钟持续时间。

9.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于将粉末床(10)加热到室温至1100℃的温度。

10.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于粉末床(10)的移动包括机械作用。

11.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于通过造粒和/或压制进行氟掺杂TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1')的固结。

12.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于在玻璃化前对氟掺杂TiO₂-SiO₂烟灰粒子(1')施以调理处理，这包括用氧化氮、用氧气或臭氧的氧化处理。

13.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于在玻璃化过程中，获得具有6重量%至12重量%的平均TiO₂浓度和与所述平均值最大0.06重量%的偏差、1000重量ppm至10000重量ppm的平均氟浓度和与所述平均值最大10%的偏差、以0.4至1.2ppb/K²的微商dCTE/dT表示的在20℃至40℃温度范围内热膨胀系数CTE的斜率并具有以与所述平均值小于5ppb/K的偏差为特征的CTE局部分布的坯料。