[发明专利]用于制造光伏电池的接触结构的方法和光伏电池有效
申请号: | 201480062118.5 | 申请日: | 2014-09-26 |
公开(公告)号: | CN105765733B | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | T·博斯克 | 申请(专利权)人: | 离子射线服务公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 邓斐 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 电池 接触 结构 方法 | ||
1.用于制造光伏电池(100)的接触结构(104)的方法(800),其中,该方法(800)包括如下步骤:
提供(802)用于光伏电池(100)的晶片(102);
以一种掺杂材料对晶片(102)的至少一个面的面份额进行掺杂(804),以便获得掺杂的区域(106),其中,经掺杂的区域(106)构造为掺杂的条带(106),并且所述条带(106)通过间隙(110)分开;并且
接触(806)经掺杂的区域(106),以便制成接触结构(104),其中,导体材料(108)施加到所述条带(106)上,使得所述条带(106)在两侧伸出于导体材料(108),
其中,在掺杂(804)步骤中对背面进行掺杂,以便在光伏电池(100)的背面上产生接触结构(104),
其中,条带(106)覆盖晶片(102)的背面的按最小损耗和最大效率设计的面份额,
其中,在掺杂(804)步骤中在使用处理规则的情况下确定所述条带(106)的宽度和/或所述间隙(110)的宽度,内部损耗和传输损耗根据条带的宽度和/或间隙的宽度和/或掺杂浓度在处理规则中备份,通过所述处理规则求出损耗最小值并且相应地设计条带。
2.根据权利要求1所述的方法(800),其中,在掺杂(804)步骤中对晶片(102)的至少一个面的20%至90%之间的面份额进行掺杂。
3.根据权利要求2所述的方法(800),其中,对晶片(102)的至少一个面的40%至60%之间的面份额进行掺杂。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(800),其中,在掺杂(804)步骤中,经掺杂的区域(106)以至少一个主条带连同多个侧条带的形式构造,其中,所述侧条带呈指形地横向于所述主条带设置。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(800),其中,在掺杂(804)步骤中引入另外的掺杂材料,以便获得另外的掺杂的区域,其中,所述另外的掺杂材料不同于所述掺杂材料,并且所述另外的掺杂的区域构造为另外的掺杂的条带,并且所述另外的条带通过所述间隙(110)与所述条带(106)分开。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(800),其中,在掺杂(804)步骤中以一个掺杂剂浓度对所述条带(106)进行掺杂,使得在经掺杂的区域(106)中出现5Ω/平方至150Ω/平方之间的薄层电阻。
7.根据权利要求中6所述的方法(800),其中,在经掺杂的区域(106)中出现20Ω/平方至60Ω/平方之间的薄层电阻。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(800),其中,在掺杂(804)步骤中以所述掺杂材料的低于所述条带(106)的浓度对所述间隙(110)进行掺杂。
9.根据权利要求8所述的方法(800),其中,在掺杂(804)步骤中以一个掺杂剂浓度对所述间隙(110)进行掺杂,使得在所述间隙中出现80Ω/平方至500Ω/平方之间的薄层电阻。
10.根据权利要求8所述的方法(800),其中,在掺杂(804)步骤中,在第一阶段中在所述条带(106)和所述间隙(110)的区域中引入所述掺杂材料,以便达到所述间隙(110)的掺杂材料的浓度,并且在第二阶段中在所述条带(106)的区域中引入所述掺杂材料,以便达到经掺杂的区域(106)中的掺杂材料的浓度。
11.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(800),其中,在掺杂(804)步骤中使用离子注入工艺。
12.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(800),其中,经掺杂的区域(106)和所述间隙(110)构造有磷并且在具有n型基极和掺硼发射极的光伏电池(100)的背面上使用。
13.包括晶片(102)的光伏电池(100),该晶片至少在一个面上具有接触结构(104),该接触结构包括掺杂的条带(106)和施加的导体材料(108),其中,所述条带(106)在两侧伸出于所述导体材料(108),并且所述条带(106)通过间隙(110)分开,其中,条带(106)覆盖晶片(102)的背面的按最小损耗和最大效率设计的面份额,
其中,在使用处理规则的情况下能确定所述条带(106)的宽度和/或所述间隙(110)的宽度,内部损耗和传输损耗能根据条带的宽度和/或间隙的宽度和/或掺杂浓度在处理规则中备份,通过所述处理规则能求出损耗最小值并且相应地设计条带。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的