[发明专利]真空泵系统和用于操作真空泵系统的方法

权利要求书

1.一种真空泵系统，包括：

真空泵，具体为干式压缩真空泵，

止回阀，其布置在与所述真空泵的出口连接的出口导管中，

旁路导管，其与出口导管和进口导管连接，所述旁路导管桥接所述真空泵，

可切换旁路阀，其布置在旁路导管中，以及

控制装置，其与所述旁路阀连接，

其特征在于，在待机模式中，所述控制装置打开所述旁路阀，以便维持所述真空泵操作，而同时减小电流输入。

2.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于布置在进口导管中的可切换进口阀。

3.根据权利要求2所述的真空泵系统，其特征在于，所述控制装置与进口阀连接，并且在所述待机模式中，所述控制装置至少部分地、或全部关闭所述进口阀。

4.根据权利要求2所述的真空泵系统，其特征在于，所述旁路导管与进口阀和所述真空泵的进口之间的进口导管连接。

5.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于，所述旁路导管与所述止回阀和所述真空泵的出口之间的所述出口导管连接。

6.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于，所述待机模式中的真空泵的旋转速度处于额定速度的20％到100％的范围中。

7.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于，所述真空泵系统是气密封的。

8.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于，至少一个真空泵布置成与所述真空泵串联，所述至少一个真空泵通过所述旁路导管来桥接。

9.根据权利要求8所述的真空泵系统，其特征在于，所述旁路导管与所述真空泵和所述至少一个真空泵之间的连接导管连接。

10.根据权利要求2所述的真空泵系统，其特征在于，所述真空泵的出口和所述止回阀之间的气体体积Vol₂₂小于进口阀和所述真空泵的进口之间的气体体积Vol₁₄。

11.根据权利要求10所述的真空泵系统，其特征在于，所述体积比Vol₂₂/Vol₁₄小于1.0。

12.根据权利要求11所述的真空泵系统，其特征在于，所述体积比Vol₂₂/Vol₁₄小于0.2。

13.一种操作真空泵系统的方法，该真空泵系统具体为根据权利要求1-12任意一项所述的真空泵系统，其中在待机模式中，所述控制装置关闭进口阀，具体为全部关闭，并且打开所述旁路阀，具体为全部打开，从而所述真空泵以减小的出口压强以及以额定速度来操作。

14.根据权利要求13所述的方法，其中当在处理腔室中达到设定压强时，则关闭所述进口阀。

15.根据权利要求13所述的方法，其中当处理腔室中的设定压强被超过时，所述进口阀被打开。

16.根据权利要求13所述的方法，其中，在所述进口阀被关闭时，当在所述真空泵的所述进口处的压强p₂超过预定的极限值时，关闭所述旁路阀。

17.根据权利要求13所述的方法，其中，在所述进口阀被关闭时，当所述真空泵的功率输入或电流输入超过预定极限值时，关闭所述旁路阀。

18.根据权利要求13所述的方法，其中，如果没有提供进口阀，当在所述真空泵的进口处的压强p₂或在处理腔室中的压强p_n低于预定极限值时，如果少的气体从所述处理腔室流出，则打开所述旁路阀，并且当所述压强p₂或压强p_n的另一极限值被超过时，关闭所述旁路阀。