[发明专利]制备成形筛的方法

权利要求书

1.一种制备用于制备有孔的聚合物膜的成形筛的方法，该方法包括如下步骤：

a)提供金属层；

b)将可雕刻材料与所述金属层结合；所述可雕刻材料具有可雕刻材料内表面、可雕刻材料外表面和可雕刻材料厚度，且所述可雕刻材料含有非导电热塑性或热固性树脂；

c)用准直能量束除去部分可雕刻材料，在可雕刻材料厚度中雕刻预定的图案以形成连续的互相连接的通道网络，所述连续的互相连接的通道网络包括在可雕刻材料中的负空间以将金属层暴露，并形成多个与所述金属层结合的离散成形体，从而形成预成形体；

d)用金属至少部分填充所述预成形体的连续的互相连接的通道网络至预定的深度；从而形成金属化的预成形体；所述金属化的预成形体包括金属晶格、多个离散成形体、金属层和金属化的预成形体外表面，所述金属晶格包括与金属晶格y-轴片段互相连接的金属晶格x-轴片段，和所述多个离散成形体被所述金属晶格包围；

e)将第二可雕刻材料与金属化的预成形体外表面接触以形成多平面基材；所述第二可雕刻材料包括第二可雕刻材料内表面、第二可雕刻材料外表面和第二可雕刻材料厚度；

f)通过用准直能量束除去第二部分可雕刻材料产生延伸通过所述第二可雕刻材料厚度的多个通孔穿孔雕刻第二可雕刻材料来雕刻多平面基材，其中所述多个通孔穿孔的至少一些在金属晶格上对齐以形成多平面预成形体；

g)在多平面预成形体中在多个通孔穿孔处沉积金属以至少部分填充至少一些在金属晶格上对齐的通孔穿孔，从而形成金属化的多平面预成形体；

h)从所述金属化的多平面预成形体中去除所述第二可雕刻材料,以在所述金属层上形成多个表面突出部；

i)从金属化的预成形体中去除所述离散成形体以形成筛前体；所述筛前体包括所述金属晶格和所述金属层；其中所述金属晶格包围多个空穴，所述空穴包含与金属化的预成形体的离散成形体对应的负空间；以及

j)通过蚀刻掉所述筛前体的金属层，从所述筛前体的金属层中去除所述金属晶格，从而形成成形筛。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述金属层是铜。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述可雕刻材料包括不导电的树脂层，并且步骤b)包括用粘合剂将可雕刻材料内表面与金属层粘合。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤c)包括激光雕刻。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤d)包括在含有溶解的镍盐的浴中电镀，从而用镍将所述连续的互相连接的通道网络至少部分地填充至预定深度。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述可雕刻材料包括缩醛树脂，并且步骤i)包括用溶剂溶解所述离散成形体。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述去除步骤j)包括将所述筛前体放置在酸浴中并溶解所述金属层以释放金属晶格。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤g)包括电镀。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤h)包括溶解所述第二可雕刻材料。