[发明专利]具有边缘导向的自动化测试系统有效
| 申请号： | 201480063240.4 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105874341B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 霍华德·林;科宾·L·钱皮恩;扬·保罗·安东尼·范德瓦特;罗纳德·A·萨特斯奇夫 | 申请（专利权）人： | 泰拉丁公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;金洁 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 边缘 导向 自动化 测试 系统 | ||
【说明书】：
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