[发明专利]用于测定测试对象的太赫兹测量设备和方法

权利要求书

1.用于测定测试对象的太赫兹测量设备，所述太赫兹测量设备包括：

-至少一个发射器-接收器单元(3；3、3')，该发射器-接收器单元具有发射器(9)和对应的接收器(10)，该发射器用于发射在0.01THz至50THz的太赫兹频率范围内的太赫兹辐射(S)，该接收器用于探测在测试对象(2)上反射的在0.01THz至50THz的太赫兹频率范围内的辐射(R)；

-至少一个镜组件(4；4、4')，所述镜组件具有第一镜(7；7、7')，该第一镜在x-y平面(E_xy；E_xy、E_xy')内形成第一焦点(B₁；B₁、B₁')和第二焦点(B₂；B₂、B₂')，并且该第一镜为了使辐射(S、R)在各焦点(B₁、B₂；B₁、B₂、B₁'、B₂')之间转向至少在部分区段上是椭圆形弯曲的，所述镜组件具有设置在第一焦点(B₁；B₁、B₁')的区域中的第二镜(8；8、8')，该第二镜用于使辐射(S、R)在横向于x-y平面(E_xy；E_xy、E_xy')延伸的z方向和x-y平面(E_xy；E_xy、E_xy')之间转向；

-测试对象保持器(5)，用于将测试对象(2)设置在第二焦点(B₂；B₂、B₂')的区域中；以及

-控制单元(6)，用于评价所探测到的辐射(R)并且基于对在测试对象(2)的各个边界层上反射的THz脉冲的运行时间差的测量来确定测试对象(2)的壁厚(dw)或层厚(d1、d2)。

2.根据权利要求1所述的太赫兹测量设备，其特征在于，所述测试对象由塑料制成。

3.根据权利要求1所述的太赫兹测量设备，其特征在于，所述至少一个发射器-接收器单元(3；3、3')沿着平行于z方向延伸穿过第一焦点(B₁；B₁、B₁')的z轴线(Z₁；Z₁、Z₁')设置。

4.根据权利要求1至3之一所述的太赫兹测量设备，其特征在于，至少两个镜组件(4、4')沿z方向彼此错开地设置并且这些镜组件的各自的第一焦点(B₁、B₁')横向于z方向间隔开。

5.根据权利要求4所述的太赫兹测量设备，其特征在于，所述至少两个镜组件(4、4')构造成相同的。

6.根据权利要求1至3之一所述的太赫兹测量设备，其特征在于，恰好两个镜组件(4、4')沿z方向彼此错开地设置并且这些镜组件的各自的第一焦点(B₁、B₁')横向于z方向间隔开。

7.根据权利要求6所述的太赫兹测量设备，其特征在于，所述恰好两个镜组件(4、4')构造成相同的。

8.根据权利要求4所述的太赫兹测量设备，其特征在于，相应的第二焦点(B₂、B₂')处于一条直线(Z₂)上，该直线平行于z方向延伸。

9.根据权利要求6所述的太赫兹测量设备，其特征在于，所述恰好两个镜组件(4、4')的各自的第一焦点(B₁、B₁')处于延伸穿过第二焦点(B₂、B₂')的y-z平面(E_yz)的不同侧上。