[发明专利]微反射镜装置有效

专利信息
申请号: 201480063622.7 申请日: 2014-11-24
公开(公告)号: CN105849618B 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 乌尔里希·霍夫曼;弗兰克·森格尔;托马斯·冯万顿赫;克里斯蒂安·马拉斯;约阿希姆·简斯 申请(专利权)人: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;G02B26/10;B81B3/00
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 陈桂香;曹正建
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 反射 装置
【权利要求书】:
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