[发明专利]磁力轴承装置、以及真空泵

权利要求书

1.一种磁力轴承装置，具备：借助电磁铁的电磁力将转子轴非接触地支承的磁力轴承，和控制该磁力轴承的控制设备，其特征在于，

前述控制设备具备电流取得单元、补正系数运算单元、第1加法运算单元、电流控制单元，

前述电流取得单元取得在一对前述电磁铁的各个中流动的电流稳态值，一对前述电磁铁在相反方向上吸引前述磁力轴承的前述转子轴，

前述补正系数运算单元根据前述电流稳态值，求出补正增益指令值，前述补正增益指令值对因前述磁力轴承的安装姿势引起的一对前述电磁铁的吸引力产生的不稳定弹性系数进行补偿，

前述第1加法运算单元将前述补正增益指令值和与前述磁力轴承的安装姿势无关的唯一地确定的基本增益进行加法运算来求出增益指令值，

前述电流控制单元借助基于前述增益指令值而生成的电流指令值，控制在一对前述电磁铁的各个中流动的电流，

前述电流取得单元具备将在一对前述电磁铁的各个中流动的前述电流稳态值个别地平方化的一对平方化单元，和将一对前述平方化单元个别地平方化后的各个电流稳态值进行加法运算的第2加法运算单元。

2.如权利要求1所述的磁力轴承装置，其特征在于，

前述电流取得单元基于在一对前述电磁铁的各个中流动的电流的电流检测值、或前述电流指令值，取得前述电流稳态值。

3.如权利要求1或2所述的磁力轴承装置，其特征在于，

前述电流控制单元利用前述增益指令值来控制具有前述转子轴的位置信息的力指令中间信号，并将被前述增益指令值控制的前述力指令中间信号和偏置电流设定值进行加法运算来生成前述电流指令值。

4.如权利要求1或2所述的磁力轴承装置，其特征在于，

前述电流指令值相对于一对前述电磁铁，消除前述不稳定弹性系数，仅作用将前述转子轴向前述磁力轴承的中心拉回的力。

5.如权利要求1或2所述的磁力轴承装置，其特征在于，

还具备低通滤波器，前述低通滤波器对借助一对前述平方化单元和前述第2加法运算单元进行平方、加法运算后的电流稳态值进行平均化处理并移转至前述补正系数运算单元。

6.如权利要求5所述的磁力轴承装置，其特征在于，

前述低通滤波器的共振频率为大致1Hz。

7.如权利要求3所述的磁力轴承装置，其特征在于，

还具备线性化单元，前述线性化单元将表示前述电流控制单元所生成的电流指令值和前述电磁铁的吸引力的关系的非线性特性借助前述偏置电流设定值来线性化。

8.如权利要求7所述的磁力轴承装置，其特征在于，

前述线性化单元仅在一对前述电磁铁的双方中都没有电流流动时发挥作用。

9.一种真空泵，其特征在于，

具备权利要求1至8中任一项所述的磁力轴承装置。