[发明专利]用于计算结构的电磁散射性质及用于估计其几何和材料参数的方法和装置

权利要求书

1.一种计算结构的电磁散射性质的方法，所述结构包括不同性质的材料并且所述结构在至少一个横向方向上是周期性的并且在相对于所述至少一个横向方向正交的方向上延伸，所述方法包括：

测量从所述结构散射的辐射以获得测量数据；

提供所述结构的所述电磁散射性质的先验估计；

从所述测量数据导出正则化系数；

通过在辐射由所述结构散射的数学模型中使用所述散射性质的试验值和所述正则化系数来获得所述散射性质的估计；

通过参考评价函数来确定是否满足终止条件，所述评价函数的参数包括所述正则化系数和所述先验估计和所述散射性质的所述估计；以及

如果不满足所述终止条件，迭代地重复获得预测数据和导出正则化系数直到满足所述终止条件；其中由最终迭代提供的新的试验值代表计算的所述电磁散射性质。

2.根据权利要求1所述的方法，其中导出正则化系数包括寻找给出评价函数的预定值的所述正则化系数的值。

3.根据权利要求2所述的方法，其中寻找所述正则化系数的值与获得所述散射性质的估计使用相同的评价函数。

4.根据权利要求2所述的方法，其中简洁评价函数被用来寻找所述正则化系数的值。

5.根据权利要求2、3或4所述的方法，其中所述预定值与所述测量数据中的数据点的数量相等。

6.根据权利要求2、3或4所述的方法，其中所述预定值与散射性质的数量相等。

7.根据权利要求1所述的方法，其中使用从由偏差原理、广义偏差原理、修改的偏差原理、变形的偏差原理和卡方分布原理、L-曲线、广义交叉验证(GCV)、无偏预测风险估计器、Regińska规则和归一化累积周期图(NCP)构成的组中选择的方法获得所述正则化系数的值。

8.根据权利要求1-4和7中的任一项所述的方法，其中寻找正则化参数包括寻找每个散射性质的正则化参数。

9.一种用于估计物体的结构的电磁散射性质的检查装置，所述检查装置包括：

照射系统，被配置成利用辐射来照射所述物体；

检测系统，被配置成检测由所述照射引起的电磁散射性质；以及

处理器，被配置成：

使用根据权利要求1到8中的任一项所述的方法估计所述电磁散射性质。

10.一种计算结构的电磁散射性质的设备，所述结构包括不同性质的材料并且所述结构在至少一个横向方向上是周期性的并且在相对于所述至少一个横向方向正交的方向上延伸，所述设备包括：

用于测量从所述结构散射的辐射以获得测量数据的装置；

用于提供所述结构的所述电磁散射性质的先验估计的装置；

用于从所述测量数据导出正则化系数的装置；

用于通过在辐射由所述结构散射的数学模型中使用所述散射性质的试验值和所述正则化系数来获得所述散射性质的估计的装置；

用于通过参考评价函数来确定是否满足终止条件的装置，所述评价函数的参数包括所述正则化系数和所述先验估计和所述散射性质的所述估计；以及

用于如果不满足所述终止条件，迭代地重复获得预测数据和导出正则化系数直到满足所述终止条件的装置；其中由最终迭代提供的新的试验值代表计算的所述电磁散射性质。

11.根据权利要求10所述的设备，其中导出正则化系数包括寻找给出评价函数的预定值的所述正则化系数的值。

12.根据权利要求11所述的设备，其中寻找所述正则化系数的值与获得所述散射性质的估计使用相同的评价函数。

13.根据权利要求11所述的设备，其中简洁评价函数被用来寻找所述正则化系数的值。