[发明专利]使用预测滤波器在基板抛光期间对抛光速率进行调整

权利要求书

1.一种存在于一计算机可读介质上的计算机程序产品，所述计算机程序产品包含指令，所述指令用于使得处理器执行以下操作：

将取决于基板的区域的厚度的测量表征值输入到第一预测滤波器中，基于所述基板的抛光工艺期间的第一时间处或第一时间前作出的原位测量来确定所述测量表征值；

将测量表征速率输入到第二预测滤波器中，所述测量表征值以所述测量表征速率变化，基于所述原位测量来确定所述测量表征速率；

在抛光期间的多个周期的每个周期

在所述第一预测滤波器中产生经滤波的表征值，所述经滤波的表征值是基于所述周期的所述测量表征值和所述周期的预测表征值确定的，所述周期的所述预测表征值是基于前一周期的经滤波的表征值和前一周期的经滤波的表征速率确定的，以及

在所述第二预测滤波器中且与所述第一预测滤波器并行地产生经滤波的表征速率，所述经滤波的表征速率是基于所述周期的测量表征速率和所述周期的预测表征速率确定的，所述周期的所述预测表征速率是基于前一周期的预测表征速率和相对于前一周期的控制参数的变化确定的；以及

基于所述经滤波的表征值和所述经滤波的表征速率来确定将在所述第一时间后且在第二随后时间前抛光所述基板的所述区域所使用的期望表征速率。

2.如权利要求1所述的计算机程序产品，其中基于第一噪声值确定所述经滤波的表征值，所述第一噪声值表示与来自所述原位测量的测量表征值相关联的噪声，并且基于第二噪声值确定所述经滤波的表征速率，所述第二噪声值表示与来自所述原位测量的表征速率相关联的噪声。

3.如权利要求1所述的计算机程序产品，其中所述第一预测滤波器和所述第二预测滤波器是卡尔曼滤波器(Kalman filter)。

4.如权利要求1所述的计算机程序产品，其中所述原位测量包含光学测量，且在所述第一时间处，在所述基板的所述区域内作出多个光学测量以提供所述区域的多个导出表征值。

5.如权利要求4所述的计算机程序产品，其中还使得所述处理器将所述测量表征值确定为所述多个导出表征值的平均值或中值。

6.如权利要求4所述的计算机程序产品，其中还使得所述处理器在达到所述第一时间的时段期间，基于拟合至所述区域的多个导出表征值的函数来确定所述测量表征值，在所述时段内不调整用于抛光基板的所述区域的设备的参数。

7.如权利要求1所述的计算机程序产品，其中还使得所述处理器确定将在所述第二随后时间处获得的所述区域的期望表征值，且基于所述经滤波的表征值和所述期望表征值来确定将在所述第一时间后且在第二随后时间前抛光所述基板的所述区域所使用的所述期望表征速率。

8.如权利要求7所述的计算机程序产品，其中还使得所述处理器基于所述经滤波的表征速率与所述期望表征速率之差来确定所述基板的所述区域的期望表征速率调整。

9.如权利要求8所述的计算机程序产品，其中还使得所述处理器确定期望的压力变化，所述压力在所述抛光工艺期间施加于所述基板的所述区域以实现所述期望表征速率调整。

10.如权利要求9所述的计算机程序产品，其中使得所述处理器在所述第一时间与所述第二随后时间之间的第三时间处确定所述基板的所述区域的另一个经滤波的表征速率，且结合基于所述期望的压力变化作出的实际压力变化来确定所述另一个经滤波的表征速率。

11.如权利要求1所述的计算机程序产品，其中使得所述处理器将所述第一预测滤波器应用于测量表征值的序列以产生经滤波的表征值的序列，且所述经滤波的表征值是来自所述第一时间处的所述经滤波的表征值的序列中的值。