[发明专利]带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法

权利要求书

1.一种操作带电粒子束系统的方法，所述方法包括：

从源提取粒子束；

执行所述粒子束的粒子的第一次加速；

在执行所述第一次加速之后，从所述粒子束形成多个粒子子束；

执行所述子束的粒子的第二次加速；

在执行所述第二次加速之后，执行所述子束的粒子的第一次减速；

在执行所述第一次减速之后，使所述子束沿着与所述子束的粒子的传播方向横向定向的方向偏转；

在使所述子束偏转之后，执行所述子束的粒子的第二次减速；以及

在执行所述第二次减速之后，允许所述子束的粒子入射到对象表面上。

2.一种操作带电粒子束系统的方法，所述方法包括：

从源提取粒子束；

执行所述粒子束的粒子的第一次加速；

在执行所述第一次加速之后，从所述粒子束形成多个粒子子束；

执行所述子束的粒子的第一次减速；

在执行所述第一次减速之后，执行所述子束的粒子的第二次加速；

在执行所述第二次加速之后，使所述子束沿着与所述子束的粒子的传播方向横向定向的方向偏转；

在使所述子束偏转之后，执行所述子束的粒子的第二次减速；以及

在执行所述第二次减速之后，允许所述子束的粒子入射到对象表面上。

3.一种操作带电粒子束系统的方法，所述方法包括：

从源提取粒子束；

执行所述粒子束的粒子的第一次加速；

在执行所述第一次加速之后，执行所述粒子束的粒子的第二次加速；

在执行所述第二次加速之后，执行所述粒子束的粒子的第一次减速；

在执行所述第一次减速之后，从所述粒子束形成多个粒子子束；

使所述子束沿着与所述子束的粒子的传播方向横向定向的方向偏转；

在使所述子束偏转之后，执行所述子束的粒子的第二次减速；以及

在执行所述第二次减速之后，允许所述子束的粒子入射到对象表面上。

4.一种操作带电粒子束系统的方法，所述方法包括：

从源提取粒子束；

执行所述粒子束的粒子的第一次加速；

在执行所述第一次加速之后，执行所述粒子束的粒子的第一次减速；

在执行所述第一次减速之后，执行所述粒子束的粒子的第二次加速；

在执行所述第二次加速之后，从所述粒子束形成多个粒子子束；

使所述子束沿着与所述子束的粒子的传播方向横向定向的方向偏转；

在使所述子束偏转之后，执行所述子束的粒子的第二次减速；以及

在执行所述第二次减速之后，允许所述子束的粒子入射到对象表面上。

5.根据权利要求1至4中的一项所述的方法，所述方法还包括：在所述偏转之前，执行所述粒子束的第一次会聚。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，在形成多个所述子束之前，执行所述第一次会聚。

7.根据权利要求6所述的方法，所述方法还包括：在所述偏转之前，执行所述子束的第二次会聚。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，执行所述第二次会聚，使得一束所述子束形成交叉部。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，在所述第二次加速之后并且在所述第二次减速之前，形成所述交叉部。

10.根据权利要求8或9所述的方法，所述方法还包括：在形成所述交叉部之后并且在执行所述第二次减速之前，执行所述子束的第三次会聚。

11.根据权利要求8所述的方法，所述方法还包括：在形成所述交叉部之前，执行所述子束的粒子的第三次加速。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述第三次加速使所述粒子的动能增加大于10keV的能量。

13.根据权利要求11所述的方法，其中，所述第三次加速使所述粒子的动能增加大于20keV的能量。

14.根据权利要求11所述的方法，其中，所述第三次加速使所述粒子的动能增加大于30keV。

15.根据权利要求1至4中的一项所述的方法，其中，所述第一次加速和所述第二次加速中的至少一个使所述粒子的动能增加多于第一能量。