[发明专利]具有对流和辐射加热的熔炉

说明书

本发明涉及用于控制至少一个基板（102）的温度的熔炉，特别是连续式熔炉。熔炉的外壳（100）包括进风口（103）和出风口（104），其中，在进风口（103）与出风口（104）之间形成温度控制部（105）。用于承载所述至少一个基板（102）的载体元件（120）可沿着运输方向（101）移动通过进风口（103）进入温度控制部（105）且从温度控制部（105）通过出风口（104）。温度控制元件（106）热联接到温度控制部（105）以便控制温度控制部（105）的温度。所述温度控制部（105）包括进气口（108），气体（110）可通过该进气口吹送以便控制温度控制部（105）的温度。

技术领域

本发明涉及一种熔炉，特别是连续式熔炉，包括布置在温度控制部内部以便控制温度控制部的温度以控制（有涂层）基板的温度的多个温度控制元件。此外，本发明涉及一种用于用熔炉对基板进行回火的方法。

背景技术

为了提供具有高容量的熔炉，使用隧道式熔炉或连续式熔炉。连续式熔炉是连续地操作的熔炉，其中在进口处向熔炉中馈入要加热的材料，例如金属材料，然后该材料通过熔炉加热部，并且最后通过出口移除。

通常，连续式熔炉包括多个加热部，其沿着要加热材料的运输方向接连地布置。例如，连续式熔炉包括预热区、烧制区和冷却区，其沿着材料的运输方向接连地布置。

为了运输材料通过连续式熔炉，将材料支撑到炉滚柱或其它部件上，材料沿着该滚柱沿着运输方向滚动。具体地，滚柱例如驱动皮带驱动，一般沿着运输方向运输材料通过熔炉。

为了将加热区内的材料加热，向各加热区中注入加热气体或过程气体。由于连续式熔炉的设计，即进口和出口孔，要将加热气体与熔炉的环境隔离是复杂的。因此，期望连续式熔炉的准确温度控制以及能量高效的连续式熔炉。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于控制材料的温度的高效且准确的熔炉。

可用一种熔炉、特别是连续式熔炉并用根据本申请的一种用于用熔炉来控制基板的温度的方法来实现此目的。

根据本发明的第一方面，提出了一种用于控制至少一个基板的温度的熔炉，特别是连续式熔炉。该熔炉包括外壳和温度控制元件。该外壳包括进风口和出风口，其中，在进风口与出风口之间形成温度控制部。用于承载所述至少一个基板的载体元件可沿着运输方向移动通过进风口进入温度控制部且从温度控制部通过出风口。温度控制元件被热联接到温度控制部以便即通过辐射或吸收来控制温度控制部的温度。温度控制部可包括进气口，气体可通过该进气口吹送以便即通过对流来控制温度控制部的温度。

根据本发明的另一方面，提出了一种用于用熔炉来控制至少一个基板的温度的方法。根据本方法，用于承载所述至少一个基板的载体元件沿着运输方向移动通过进风口进入温度控制部且从温度控制部通过出风口。熔炉可包括外壳，其包括进风口和出风口，其中，在进风口与出风口之间形成温度控制部。此外，根据本方法，由被热联接到温度控制部的温度控制元件（其热能的辐射或吸收）来控制温度控制部的温度。此外，通过进气口向温度控制部中吹送用于（即对流地）控制温度控制部的温度的气体。

熔炉包括外壳，该外壳包括进风口和出风口。在进风口与出风口之间，形成温度控制部。可对温度控制部进行温度控制（加热或冷却），以便在温度控制部内部提供期望的温度以便分别地控制基板的温度。外壳可形成隧道，所述至少一个基板在加热和/或冷却过程期间运输通过该隧道。外壳可由热隔离材料制成，以便将温度控制部内部的体积与围绕外壳的环境隔离。