[发明专利]弹性波装置以及其制造方法

权利要求书

1.一种弹性波装置，其特征在于，

具备：

支承基板；

层叠膜，其层叠在所述支承基板上，将包含压电薄膜的多个膜层叠而成；

IDT电极，其设置在所述压电薄膜的一面；

引出电极部，其形成在所述层叠膜上，且与所述IDT电极电连接；

焊盘电极部，其与所述引出电极部相连；

支承框，其被设置成包围设有所述IDT电极的区域，直接或间接层叠在所述支承基板上；

盖件，其设置在所述支承框上；

凸块下金属层，其位于所述焊盘电极部的上方，被设置成贯通所述支承框以及所述盖件；和

外部连接端子，其在所述凸块下金属层上的位置，与所述凸块下金属层接合，

所述层叠膜中至少所述压电薄膜被设置成不存在于所述焊盘电极部以及所述支承框的下方。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，

在所述焊盘电极部的下方，实质除去所述焊盘电极部与所述支承基板之间的所述层叠膜。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，

所述焊盘电极部层叠在所述支承基板上，使得所述焊盘电极部的下表面进入到设于所述支承基板上表面的凹部。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述压电薄膜是压电单晶薄膜。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其特征在于，

在所述压电薄膜添加了Fe。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述层叠膜具有低音速膜和高音速膜，所述低音速膜与所述压电薄膜的下表面相接而设，且相比于在所述压电薄膜中传播的体波的音速，所传播的体波的音速更慢，所述高音速膜层叠在所述低音速膜的下表面，相比于在所述压电薄膜中传播的弹性波的音速，所传播的体波的音速更高。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其特征在于，

在所述焊盘电极部与所述支承基板之间进一步设置有所述高音速膜与所述低音速膜的层叠体中的至少一部分层。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述弹性波装置具有低音速膜，其与所述压电薄膜的下表面相接而设，且相比于在所述压电薄膜中传播的体波的音速，所传播的体波的音速更慢，

所述支承基板是高音速支承基板，其层叠在所述低音速膜的下表面，相比于在所述压电薄膜中传播的弹性波的音速，所传播的体波的音速更高。

9.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述外部连接端子由金属凸块构成。

10.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述引出电极部从所述层叠膜上表面经过所述层叠膜的侧面上而与所述焊盘电极部相连，

形成该引出电极部的所述层叠膜的所述侧面相对于所述支承基板上表面倾斜，使得随着去往上方而靠近所述IDT电极侧。

11.根据权利要求10所述的弹性波装置，其特征在于，

在所述层叠膜的设有所述引出电极部的所述侧面设置有台阶。

12.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述弹性波装置具备多个IDT电极来作为所述IDT电极，

还具备连接布线，其将相邻的IDT电极彼此电连接，且设置在所述层叠膜的至少一部分层上。

13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其特征在于，

设置所述连接布线，使得在所述连接布线的下方不存在所述层叠膜当中至少所述压电薄膜。