[发明专利]单晶生长装置有效
| 申请号： | 201480066269.8 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105980614B | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 方仁植;金喆焕 | 申请（专利权）人： | LG矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/24 | 分类号： | C30B15/24;C30B15/20;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 金红莲 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生长 装置 | ||
【说明书】：
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