[发明专利]玻璃基板的精研磨方法、以及利用该方法进行了精研磨的无碱玻璃基板在审
| 申请号： | 201480066289.5 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN105793207A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 德永博文;小野和孝 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C19/00 | 分类号： | C03C19/00;C03C3/091;C03C3/093 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 研磨 方法 以及 利用 进行 | ||
1.一种玻璃基板的精研磨方法，其使用含有氧化铈作为研磨磨粒 的研磨浆料对玻璃基板的主面进行研磨，其中，
所述玻璃基板的组成为下述的无碱玻璃，
所述玻璃基板的精研磨方法包括以下阶段：在将所述玻璃基板的 主面的换算为20mm间距的起伏而得到的起伏高度自0.14μm变化至 0.10μm时的所述玻璃基板的研磨量设为X(μm)时，在使0.04/X为 0.12以上的条件下进行研磨；
所述无碱玻璃的应变点为680～735℃，50～350℃下的平均热膨 胀系数为30×10-7～43×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1330℃以下， 以氧化物基准的摩尔％表示，所述无碱玻璃含有：
MgO+CaO+SrO+BaO为15.5～21，
MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上，
CaO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下，
SrO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下。
2.如权利要求1所述的玻璃基板的精研磨方法，其中，精研磨前 的玻璃基板的主面的换算为20mm间距的起伏而得到的起伏高度为 0.2μm以下。
3.如权利要求1或2所述的玻璃基板的精研磨方法，其中，对通 过浮法进行成形而得到的玻璃基板的主面进行精研磨。
4.一种无碱玻璃基板，其使用权利要求1～3中任一项所述的玻 璃基板的精研磨方法进行了精研磨。
5.如权利要求4所述的无碱玻璃基板，其中，精研磨后的玻璃基 板的主面的换算为20mm间距的起伏而得到的起伏高度为0.07μm以 下。
6.如权利要求4或5所述的无碱玻璃基板，其中，精研磨后的玻 璃基板的主面的5μm见方的表面粗糙度为0.30nm以下。
7.如权利要求4～6中任一项的无碱玻璃基板，其中，至少一边 的长度为900mm以上。
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