[发明专利]用于处理器件的处理设备以及用于传送蒸发源的方法有效
| 申请号： | 201480066877.9 | 申请日： | 2014-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN106068334B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | J·M·迭戈兹-坎波;S·邦格特;U·舒斯勒;D·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 高见 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 处理 器件 设备 其中 包含 有机 材料 蒸发 空腔 传送 维护 方法 | ||
【权利要求书】：
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