[发明专利]扩散结合的铜溅射靶组件有效
| 申请号： | 201480068275.7 | 申请日： | 2014-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN105814233B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | J.萨卡;P.吉尔曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯S.T.技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘辛;杨思捷 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 结合 溅射 组件 | ||
【说明书】：
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