[发明专利]用于检验半导体封装的装置与方法有效
申请号: | 201480068396.1 | 申请日: | 2014-11-10 |
公开(公告)号: | CN106030283B | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 振亚九;何崇发;V·费多普拉柯夫;黄循威 | 申请(专利权)人: | 伊麦装备私人有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01B11/00 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 检验 半导体 封装 装置 方法 | ||
【权利要求书】:
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