[发明专利]负型感光性树脂组合物、树脂固化膜、分隔壁和光学元件

权利要求书

1.一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：

具有光固化性的碱溶性树脂或碱溶性单体(A)；

光聚合引发剂(B)；以及

拒墨剂(C)，其是水解性硅烷化合物混合物的部分水解缩合物，所述水解性硅烷化合物混合物包含具有R^f1OR^f2-所示的碳原子数2～40的一价基团和水解性基团的水解性硅烷化合物s1，R^f1OR^f2-中，R^f1为碳原子数1～6的多氟烷基，R^f2为在碳-碳原子间任选具有醚性氧原子的多氟亚烷基，其中，R^f1OR^f2-具有至少1个-O-CF₂-基，所述拒墨剂(C)的氟原子含有率为2质量％以上且小于10质量％。

2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述水解性硅烷化合物s1为下式(cx-1)所示的化合物，

(R^f1OR^f2-Q¹)_a-Si(R^H1)_bX¹_(4-a-b)…(cx-1)

Q¹表示碳原子数1～10的不含氟原子的二价有机基团，

R^H1表示碳原子数1～6的一价烃基，

a表示1或2，b表示0或1，a+b为1或2，

X¹表示水解性基团。

3.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述R^f1为全氟烷基，R^f2为全氟亚烷基。

4.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合物还包含硅原子上键合有4个水解性基团的水解性硅烷化合物s2。

5.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合物还包含具有含烯属双键的基团和水解性基团且不含氟原子的水解性硅烷化合物s3。

6.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其还包含1分子中具有2个以上的烯属双键且不具有酸性基团的交联剂(D)。

7.一种树脂固化膜，其特征在于，其是使用权利要求1～6中任一项所述的负型感光性树脂组合物而形成的。

8.一种树脂固化膜，其是在基板上形成的权利要求7所述的树脂固化膜，

在利用X射线光电子能谱(XPS)进行的所述在基板上形成的树脂固化膜的表面的组成分析及厚度方向的组成分析中，

在所述在基板上形成的树脂固化膜的至少表面测定到表示硅原子及源自-O-CF₂-基的碳原子的存在的峰，

所述在基板上形成的树脂固化膜的表面的源自-O-CF₂-基的碳原子浓度相对于源自取代或无取代的非氟代烃基的碳原子浓度的比值[C_FO/C_H]_(s)大于所述在基板上形成的树脂固化膜的内部的源自-O-CF₂-基的碳原子浓度相对于源自取代或无取代的非氟代烃基的碳原子浓度的比值[C_FO/C_H]_(i)，并且，

所述在基板上形成的树脂固化膜的表面的硅原子浓度相对于源自取代或无取代的非氟代烃基的碳原子浓度的比值[Si/C_H]_(s)大于所述在基板上形成的树脂固化膜的内部的硅原子浓度相对于源自取代或无取代的非氟代烃基的碳原子浓度的比值[Si/C_H]_(i)。

9.一种分隔壁，其特征在于，其形成为将基板表面分隔成多个用于形成点的分区的形状，所述分隔壁由权利要求7所述的树脂固化膜或权利要求8所述的在基板上形成的树脂固化膜形成。

10.一种光学元件，其特征在于，其在基板表面具有多个点和位于相邻的点间的分隔壁，所述分隔壁由权利要求9所述的分隔壁形成。

11.根据权利要求10所述的光学元件，其特征在于，所述点用喷墨法形成。